表面质量标准.DOC

YXT 第 PAGE 1 页 共 NUMPAGES 2 页 晶体表面质量标准 1． 表面缺陷定义： 有效通光面积内表面缺陷的最大允许尺寸和数量的定量（数值）的描述，数值表示“道子-斑点”，“S/D” 例如：60-40表示道子的最大数值为60微米，斑点数最大数值为40丝 依此类推: “40-20”表示道子的最大数值为40微米，斑点数的最大数值为20丝。但“道子-斑点”的意义并不止于以上，在以下篇幅中，加以详细的描述 2． 道子 道子指窄而长的缺陷 道子数：道子的宽度。单位：微米（0.001毫米），即60#的道子代表宽度为0.060毫米的道子。 最大的道子：宽度等于表面质量要求中道子数的道子，当元件中最大道子超过，表面质量要求中的最大道子时，元件不合格 例如：元件质量要求为60-40，代表最大道子宽度0.060毫米，如果元件有70#道子，元件不合格 (1)当元件最大道子小于表面质量要求中所代表的最大道子时,元件的道子数按以上步骤求和： a．求各尺寸道子的长度和(L) b．各长度之和除以元件平均直径(D) c．所得的数乘以相应的道子数.(N) d．最后求和: (2)无最大道子时,和不超过最大标称道子 例 元件为φ10.表面质量指标60-40,有1条50#道子2mm,1条40#道子3mm,另1条40#道子2mm,10#道子长度合计10mm C=N(L/D) C=50×(2/10)+40×(3/10)+40×(2/10)+10×(10/10) =4060 元件合格 (3)当有最大道子存在时,所有最大道子的长度之和应不超过元件平均直径的1/4，即1/4D 例：如有一φ20mm的元件，对元件的要求为60-40，当只有1条60#道子长为4mm时，求元件是否合格 根据要求：允许的最大道子的长度为： 1/4D=1/4×20=5mm 4mm5mm 此元件合格 (4) 当有最大道子但又无1/4D#时，所有的道子的宽度之和是否大于指标中道子的1/2 例：表面质量指标为60-40，φ20mm元件上有2条1mm的60#道子，1条4mm的40#道子 N(L/D)=60×(2×1/20)+40×(4/20)=14 1/2S=1/2×60=30 1430 注： ( S为S/D中道子数的代号) 元件合格 3．疵点数，允许点子的实际直径尺寸，用0.01mm表示，不规则疵点用最大长度和宽度的平均值 即60#=0.60mm 40#=0.40mm 最大疵点：即质量指标要求的最大标准值 例如：质量指示要求为60-40元件,最大疵点为40#=0.40mm,当在任何φ20mm 范围内所 有疵点直径之和不超过最大尺寸疵点的2倍。 例：一片元件其中一个φ20mm的区域有40#点子一个。20#点子一个，10#点子一个，同时在另一个φ20mm区域中，10#点子2个，5#点子8个，2#点子10个，1#点子10个，求此元件是否合格？ A D=40+20+10=7040×2=80 7080 此元件合格 B D=10×2+5×8+2×10+1×10=9080 此元件区域不合格 注：(D为S/D中疵点数代号) 因为： 元件中有φ20mm区域不合格 所以 元件不合格 当元件20时，按面积折算点子数 D=X2/202 (X为元件等效面和直径) 例：φ10元件要求：60-40，允许的疵点子数 40×2×(10/20)2=80×100/400=20 即最大点子为20#且点子数和小于20丝 当元件质量标准为20-10以上，如10-5时,所有以下要求:在元件中任何一个φ6.35区域,允许有4条或4条以上的10#道子 任何两个点子的间距必须大于1mm。