硼硅酸盐玻璃晶片激光标识的制作技术-激光与红外杂志.PDFVIP

第４５卷　 第１期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．１ 　 ２０１５年１月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊａｎｕａｒｙ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０１００１７０５ ·激光应用技术 · 硼硅酸盐玻璃晶片激光标识的制作技术 李　悦 （北京大学微电子研究院微米／纳米加工技术国家重点试验室，北京 １００８７１） 摘　要：晶片标识码的手写方式存在不美观、字体边缘玻璃蹦渣及划痕深等缺点。某些ＭＥＭＳ 工艺玻璃－Ｓｉ键合片需ＫＯＨ腐蚀。采用手写，ＫＯＨ通过玻璃片标码部位侵入晶片正面而腐 蚀器件结构。因此，采用波长１０６４０ｎｍＣＯ 激光器针对玻璃晶片进行激光标识制作的打标工