测量CCD传递函数的系统中国科技论文在线.PDF

第 26 卷　第 4 期 中　 国 　激 　光 . 26, . 4 V o l A N o 　1999 年 4 月 CH IN ESE JOU RNAL O F LA SER S A p ril, 1999 测量CCD 传递函数的实验系统 宋　敏　胡家升　李叶芳　孙　怡 (大连理工大学电子与信息工程学院　大连 116023) 提要　介绍了一种新型的测量 CCD 传递函数的灵巧系统, 该系统包括能产生动态变频正弦光栅 图样的灵巧干涉仪系统, 数据采集和转换系统, 数字处理所必须的软硬件等。测量结果表明: 干涉 仪所产生的正弦光栅图样, 可在 0. 2～ 80 的空间频率范围内以误差小于 1% 的精度 line pair mm 实现连续变频, 且信号的调制对比度接近于 1。将该干涉仪产生的正弦光栅图样用作测量 CCD 的 调制传递函数的靶标, 再采用我们专门研制的数据处理的软硬件, 得到了令人满意的测量结果。 关键词　CCD , 正弦光栅, 干涉仪 1　引　言 　　长期以来, 调制传递函数( , ) 一直是评价成像系统质 M odu lation T ran sfer Function M T F 量的重要指标, 因为它能够真实地反映成像系统的空间频率响应特性。电荷耦合器件(Charge , ) 虽然是一种离散的成像器件, 但是由于把 作为评价其成像质量指 Coup led D evice CCD M T F [ 1 ] 标可能遇到的理论问题已经解决 。因此, 如何用M T F 来评价CCD 的成像质量就成为近期 的研究热点。迄今为止, 人们已经提出了诸如刃边法、激光散斑法、扩展频率孔径法等几种测量 CCD 的M T F 的方法[ 2～ 5 ] 。由这些方法可以看出, 测量M T F 的关键是靶标函数的选择。因为 靶标函数的选择决定了整个测量装置的测量精度和操作的复杂程度。比如, 用刃边或图形板做 靶标函数时, 通常需要高质量的光学成像系统将靶标引入到CCD 像面上, 有的还要采用高精 ( ) 度的扫描系统 如刃边法 。当采用随机图样做靶标函数时, 高噪声、制作理想衍射孔径的复杂 工艺以及繁杂的数据处理, 也使它的应用受到限制。理论和实验研究表明: 在测M T F 时, 正弦 函数是最理想的靶标函数, 因为它经过成像系统成像后, 仍为同频率的正弦函数, 只是幅值和 [ 6 ] 位相会发生变化。因此, 采用正弦图样作为靶标函数可以简化数据处理 。 . . 等曾 K J Barnard 用变频的扬氏干涉获得正弦信号来测量 SPR IT E 探测器的M T F [ 7 ] , 但频率变化范围很小。我 们设计并装备了一套灵巧干涉仪系统, 它具有体积小、变频方法简单且变频范围大、所产生的 正弦光栅图样的调制对比度高等特点。当该系统用于CCD 的M T F 检测时, 可将