原创力文档- 7
- 0
- 约2.23万字
- 约 7页
- 2019-03-26 发布于天津
- 举报
第卷第期年月基于算法的刻蚀机腔室关键结构工艺参数多目标优化崔广英杨为张翔重庆大学机械传动国家重点实验室重庆重庆大学机械工程学院重庆重庆大学汽车工程学院重庆摘要以某英寸晶元湿法刻蚀机腔室为研究对象建立以入口流量入口半径阻尼板渗透系数喷淋板渗透系数和刻蚀腔间距为参数的中心复合设计采用最小二乘法拟合得到平均刻蚀速率和刻蚀不均匀性的响应面模型以二者为优化目标使用非支配排序遗传算法得到了最优刻蚀工艺下结构工艺参数的非劣解集并研究最优刻蚀工艺下的结构工艺参数分布规律优化结果表明该方法可以有效获得最优刻蚀结构
第10卷第22 期 Vol.10 No.22
2017 年 11 月 November 2017
基于 NSGA-II 算法的刻蚀机腔室关键结构工艺
参数多目标优化
您可能关注的文档
- 场整体平稳,龙头持续超预期.pdf
- 场波动加剧隐含波动率提升.pdf
- 均匀无耗传输线的工作状态分为三种：负载无反射的行....ppt
- 坦桑尼亚从坦桑尼亚到桑给巴尔岛：大自然的魅力.pdf
- 城郊街新开村商铺楼工程.DOC
- 基于ANSYS不同螺旋槽规格的钢丝应力分析.pdf
- 基于IGBT器件串联的MMC随机零序分量注入PWM方法.pdf
- 基于MMC的中压大功率直流配电方案及其控制方法.pdf
- 基于PSR模型的塔里木河流域生态脆弱性评价.pdf
- 基于VPN技术的云南强震观测高速远程通信实用方案.pdf
- 江苏省无锡市惠山区2024-2025学年高一下学期期中物理试题（春卷）（含答案）.pdf
- 江苏省扬州市广陵区红桥高级中学2024-2025学年高一下学期4月期中物理试题（含答案）.docx
- 四川省达州市万源中学2024-2025学年高一下学期4月期中物理试题（含答案）.docx
- 江苏省扬州市广陵区红桥高级中学2024-2025学年高一下学期4月期中物理试题（含答案）.pdf
- 四川省达州市万源中学2024-2025学年高一下学期4月期中物理试题（含答案）.pdf
- 四川省凉山州西昌市2024-2025学年高一下学期期中考试物理试题（含答案）.docx
- 四川省凉山州西昌市2024-2025学年高一下学期期中考试物理试题（含答案）.pdf
- 四川省南充市西充中学2024-2025学年高一下学期期中考试物理试题（含答案）.docx
- 四川省南充市西充中学2024-2025学年高一下学期期中考试物理试题（含答案）.pdf
- 浙江省杭州第二名校钱江名校2023-2024学年高二下学期期中物理试题（含答案）.docx
最近下载
- 2024年广东中考历史解题备考策略三轮冲刺复习课件.pptx VIP
- 2025广东中考历史复习备考策略 课件--瞄准目标，提高效率.pptx VIP
- 2026年广东东莞市东莞八校联考中考一模化学试题（试卷+解析）.pdf VIP
- 新课标指导下2025年徐州市中考历史复习策略++课件+.pptx VIP
- (9)--4.1底物脱氢的四条途径.ppt VIP
- 国土高标准农田项目监理月报.doc VIP
- 《中考历史复习策略》课件.ppt VIP
- JRC901B 电子海图中文操作手册.pdf VIP
- 中考历史备考扎实备课与创新复习策略课件.pptx VIP
- （二模）2026年沈阳市高三年级教学质量监测（二）化学试卷（含答案）.pdf
文档评论（0）