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半导体工艺介绍 现代半导体器件物理与工艺 半导体产业介绍 * 现代半导体器件物理与工艺 桂林电子科技大学 半导体产业介绍 * 半导体产业介绍 现代半导体器件物理与工艺 Physics and Technology of Modern Semiconductor Devices 2004,7,30 或许您不知道，半导体电子零件在您的生活中已存在 了三十多年；在您的周遭，只要是电器用品，或多或少都有 半导体电子零件的影子。这个小精灵的出现大大地改变了人 类的生活；让您有更舒适方便的生活环境；如功能强大的个 人电脑，体积小得可以带着走，出国在外也可以和总公司连 线；四通八达的电信网路，可以和世界任何地方联络；汽车 的电脑控制系统让您安全又方便地操控汽车驾驶之先进功能；学生可以透过光碟电子书学习新知…。 这个无所不在的小东西是一种叫作“硅”的物质所制作成的。这种物质在地球上相当丰富，海沙即含有相当高成份的“硅”。半导体的制作过程是一项科技高度整合的作业，结合了化学、物理、电子、电机、机械、自动化、软体工程、电脑辅助设计(CAE/CAD)等，几乎所 有顶尖的技术都被用来制造半导体。从下方这个简单的流程方块图，我们大致可以瞭解半导 体的制程。 半导体产业实际上是一个更大实体的子系统－高技术产业。制造微芯片生产电子硬件，它伴随着软件集成并控制芯片功能。高技术产业包含正半导体应用