真空电子器件生产线设备安装技术规范（征求意见稿）.doc

PAGE PAGE 6 UDC 中华人民共和国国家标准 P GB XXXXX - XXXX 真空电子器件生产线设备安装技术规范 Technical Code for Equipment Installation of Vacuum Electronic Device Production Line （征求意见稿） ××××—××—×× 发布 ××××—××—×× 实施 中华人民共和国住房和城乡建设部 联合发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中华人民共和国国家标准 真空电子器件生产线设备安装技术规范 Technical Code for Equipment Installation of Vacuum Electronic Device Production Line GB 500ⅹⅹ-201ⅹ 主编部门：中华人民共和国工业和信息化部 批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部 施行日期：XXXX年XX月XX日 XXXXX出版社 2017 北 京 前 言 本规范是根据中华人民共和国住房和城乡建设部《关于印发2014年工程建设标准规范制订修订计划的通知》（建标〔2013〕169号）的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究所与中国真空电子行业协会会同有关单位共同编制完成。 本规范在编写过程中，编制组进行了广泛的调查研究，认真总结实践经验并参考国内外有关的标准，广泛吸取了全国有关单位和专家的意见。经过广泛征求意见、反复修改，最后经审查定稿。 本规范共分7章和3个附录，主要技术内容为：总则、术语、基本规定、工艺设计、设备安装工程施工、调试和试运行、工程验收等。 本规范由住房和城乡建设部负责管理，由工业和信息化部负责日常管理，由中国真空电子行业协会负责具体技术内容的解释。在执行过程中如有意见和建议，请寄送中国真空电子行业协会（地址：北京市749信箱；邮编：100015，E-mail:cavei.bj@163.com）以便今后修订时参考。 本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人： 主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究所 中国真空电子行业协会 参编单位：中电科技集团公司第十二研究所 陕西宝光真空电器股份有限公司 东芝白云真空开关管（锦州）有限公司 中国振华电子集团宇光电工有限公司 甘肃虹光电子有限责任公司 南京三乐电子信息产业集团有限公司 北京七星华创股份有限公司 世源科技工程有限公司 黄石上方检测设备有限公司 主要起草人： 主要审查人：  目 录 TOC \o 1-2 \u 1．总 则 8 2 术 语 9 3 基本规定 11 3.1 一般规定 11 3.2工艺流程 16 3.3主要设备构成 20 4 工艺设计 22 4.1表面处理及热处理 22 4.2装配 24 4.3排气 26 4.4老炼检测 27 5 设备安装工程施工 30 5.1 一般规定 30 5.2 安装条件 30 5.3 设备开箱 31 5.4 设备搬运 32 5.5 设备安装 33 5.6重要设备的安装案例 35 5.7 二次配管配线 38 6 设备调试与试运行 41 6.1 一般规定 41 6.2设备调试与试运行 41 7 工程验收 43 7.1 一般规定 43 7.2 交接验收 43 7.3 自动化生产线联线验收 46 7.4生产线验收 48 7.5 验收不合格的处置 49 附录A: 工程施工工艺条件 50 附录B: 工程质量验收记录用表 53 附录C: 主要真空电子器件生产线设备单机试运行和验收 61 C.1 清洗设备设备 61 C.1.1 碱液去油设备………………………………………….……..61 C.1.2 酸洗设备 61 C.2镀覆设备 ………………………………………………………….62 C.2.1 镀银设备 62 C.2.2 镀镍设备 63 C.2.3 电泳设备 64 C.2.4 真空溅射镀覆设备…………………………………………..64 C.3真空炉 65 C.4 X射线实时成像检测系统 66 C.5 激光焊接机 68 C.6 氩弧焊 69 C.7 高频感应钎焊炉 69 C.8 氦质谱检漏仪 71 C.9 高真空排气台 71 C.10 电子管老炼设备 73 C.11 工频高