光探针测量系统中瞄准信号的检测与处理的研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

Classified Index: TH741.8 U.D.C: 681.7 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH ON THE AIMING SIGNAL PROCESSING OF THE OPTICAL PROBE MEASUREMENT SYSTEM Candidate: Supervisor: Academic Degree Applied for: Speciality: Affiliation: Date of Defence: Degree-Offering-Institution: Liu Qingqing Prof. Pu Zhaobang Master of Engineering Instrument Science and Technology Department of Automatic Measurement and Control July,2008 Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 - - I - 摘 要 表面测量是几何量测量中的一个重要领域。随着微细加工、微光学、微 电子学及微机械学等学科技术的不断发展，越来越多的微器件需要进行精密 三维测量。同时，对于较大尺寸器件，对其表面形貌的测量精度的要求也在 不断提高。因此，对于表面轮廓的精细测量，已成为现代精密测试技术研究 的重要课题。 本课题所研究的瞄准信号的检测与处理系统是黑龙江省科技攻关项目 “多光针表面形貌测量系统”中的一个子课题。该表面形貌测量系统利用差 动共焦技术，实现高精度、高分辨力的非接触表面形貌测量。而对于采用高 精度的共焦成像多光探针法测量表面形貌的系统，其瞄准测头作为信号拾取 的装置，在系统中占重要地位。 本文首先详细介绍了差动共焦光探针测量系统的测量原理，分析了光束 在光学系统中传播的能量损失。并据此提出了光信号接收及转换电路的设计 方案及电信号的处理方案。 本文详细设计了瞄准信号的检测处理电路，其中重点分析了光电探测器 的基本特性及其前置放大器，即电流-电压转换电路部分的设计。对于后续 处理电路包括放大、滤波、加减法及比较电路给出了详细设计方法并编写了 本课题数据处理软件。 通过设计模拟实验，测试系统各个部分，其工作性能良好，可以作为共 焦光探针测量系统的瞄准信号的检测和处理装置。 关键词 表面形貌；光探针测量；电路设计；数据采集 - - II - Abstract Surface metrology is an important field of geometry metrology. With the rapid development of such technologies as miniaturized machining, micro-optical, micro-electronics and micro-mechanics, the 3-D measurement of many specimens require high accuracy. As well as the request of the measurement accuracy for the large size object is much higher. How to measure the 3-D surface topography of specimens quickly and accurately has become a challenge in field of modern micro-measurement. This research on aiming signals measuring and processing system is based on the project “Multi-Probe Topography Measurement System”. Based on the differential confocal microscopy technology, the project is to develop a surface measurement technique with high accuracy, resolving power and non-contact mode. Moreover, the aiming probe as the device for signals collection plays an important part in the high accuracy to