LCD制造工艺流程(技术类).ppt

玻璃厚度 切割深度 切割压力 刀轮使用次数 2.1.4 切割工序的管理项目 * PPT课件 2.1.3 切割工序的设备 2.1.3 切割工序的设备及操作流程 调整刀轮参数 放置玻璃 安装切割刀轮 开机 玻璃定位 刀轮定位 设置切割程序 试切割(双面) 检验 合格 不合格 正式切割(双面) a) 玻璃切割机简介 b) 切割流程简介 * PPT课件 切割机图片 * PPT课件 切割 * PPT课件 蚀刻检查Pattern Inspection 基板剥膜完成后，以 图案检查机确认基板 有无短路 断路。 * PPT课件 图案段不良原因分析 质量分析: 1. 浮胶:显影和腐蚀过程中产生;（前五项是显影时产 生，后三项为刻蚀ITO 时产生） A. 涂胶前玻璃表面清洁处理不当;涂膜操作环境湿 度太大,使胶与玻璃表面粘附不良;玻璃清洁后在 空气中放置时间过长,空气中水汽附在玻璃表面 上;注意玻璃表面清洁处理和操作环境 的温湿度及清洁工作 B. 光刻胶配制有误或者胶陈旧不纯,胶的光化学反 应性能不好,使胶与ITO 层成键能力差或者胶膜不 均匀和过厚,引起粘附不良; C. 前烘时间性不足或过度。烘烤不足，胶膜内溶剂 不能及时挥发，显影时部分胶膜被溶除；烘焙过 度，胶