关于扫描隧道显微镜系统的研究-仪器仪表工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 南京邮电大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过 的研究成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 本人学位论文及涉及相关资料若有不实，愿意承担一切相关的法律责任。 研究生签名：_ 日期： _ 南京邮电大学学位论文使用授权声明 本人授权南京邮电大学可以保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子文档； 允许论文被查阅和借阅；可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索；可以 采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。本文电子文档的内容和纸质论文 的内容相一致。论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生院办理。 涉密学位论文在解密后适用本授权书。 研究生签名：_ 导师签名： _ 日期：_ 摘要 扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）是各种探针显微镜（原子力显微镜 AFM,激光力显微镜 LFM，磁力显微镜 MFM 等等）的统称，是一种用于分析物质表面微观形态 的科学仪器，它高度集成了机械加工技艺，量子隧穿原理，自动控制原理，光电感应原理， 信号检测技术及高分辨图形处理技术等高新技术和原理。而它最初问世时的雏形是扫描隧道 显微镜（Scanning Tunneling Microscope，STM）。 “工欲善其事必先利其器”，鉴于目前纳米材料科学的快速发展，对高精度的表面分析仪 器工具的需要更加迫切，本文的研究目标是在一定预算成本下，搭建一台高稳定性，高精度， 可在大气环境下使用的完整的扫描隧道显微镜系统，因此本文的主要工作包括如下： （1）根据压电材料的逆压电效应，在充分分析目前 STM 领域内几款主流压电马达的基 础上，设计具有自主专利权的，创新的，结构简单，步进稳定的惯性压电马达结构，并购买 材料制作成实物，通过实验测试该惯性马达的步进幅度，负载能力，并对实验结果的误差进 行理论分析，编写了专利和论文。 （2）设计并制作高放大倍率的前置放大器。本系统的前置放大器采用了德州仪器公司的 OPA627 高性能放大器作为主要元件，设计并搭建了一个二级放大电路作为我们的前置放大 器。 （3）针对 STM 系统对外界震动敏感的特点，我们利用金属支架与四根劲度系数相同的 粗弹簧搭建了一个二级减震系统。 （4）根据设计的惯性压电马达的尺寸以及前置放大器的尺寸，设计并制作了一个高刚性， 高稳定性的镜体结构，保证扫描探针的稳定扫描的同时，有效屏蔽了外界噪音和多路马达控 制信号对微弱的隧道电流造成的影响 （5）根据自主设计的惯性马达工作原理，利用 Labview 编写了粗步进，细逼近，以及扫 描成像程序。 关键词: 扫描隧道显微镜 惯性压电马达 扫描镜体结构 I Abstract Scanning probe microscopy (SPM) is generally referred to as the scanning tunneling microscope, and it is based on the new probe microscope(AFM and laser force microscopy LFM, magnetic force microscopy MFM, etc.), that is a kind of SPM used to analyze the microstructure of material surface. It is highly integrated with many high technologies, such as the mechanical processing technology, the quantum tunneling theory, automatic control theory, photoelectric induction principle, signal detection and high resolution graphics processing technology and principle. Labour desire be good the things must first of its profits, in view of the heat of the materials science at present, especially the rapid development of