基于有限元的单晶片式压电微夹钳的设计【开题报告+文献综述+毕业设计】.DocVIP

PAGE I 毕业论文开题报告 机械设计制造及其自动化 基于有限元的单晶片式压电微夹钳的设计 一、选题的背景与意义 20世纪60年代发展起来的微电子技术和集成电路，已构成人类文明的重要基础。大规模集成电路的出现在许多领域引发了一场微小型化革命。微电子技术的巨大成功使微米/纳米技术应运而生。与此同时相应的工艺装备的定位进度也进入亚微米甚至纳米精度。实际上，无论哪种途径加工出的微机械零件都需要一种操作尺寸十分细微的微动系统装配微机械。因此，微夹钳及与其相关的研究已成为国民、内外微机械研究领域的一个前沿课题。 微夹钳主按能量供给和驱动方式现如今有基本可分为以下几种：静电式微夹钳、电磁式微夹钳、形状记忆合金微夹钳、液体吸附式微夹钳、光捕获微夹钳和压电式微夹钳。其中压电式微夹钳由于压电陶瓷执行器具有体积小、刚度大、不发热、无噪声等优点，可应用于微操作、微装配领域，其可以作为微操作机器人的手臂，具有高精确度的特征，因此，电式微夹钳现已成为最常用和众所周知的一种形式，压电陶瓷微位移器是开发MEMS（微机电子机械系统)的关键元件之一。 以往的研究中，其结构都相对比较复杂，因此我们希望设计一种结构简单，功能稳定且易于加工的结构。 二、研究的基本内容与拟解决的主要问题 2.1研究的基本内容 基于压电陶瓷单晶片结构，采用有限元分析法，设计由压电陶瓷执行器驱动、张合量为200um的微夹钳。通过该设计，了解压电微夹钳的应用领域，掌握单晶片式压电微夹钳的设计过程，进而掌握零、部件的一般设计过程。 2.2拟解决的主要问题 基于微夹钳应用同时具有良好的张合特性和刚度特性要求，确定微夹钳钳指羁绊的材料； 基于前人微夹钳结构较复杂，设计出一种结构相对简单，工作精度高的结构； 基于压电陶瓷单晶片执行器总体结构小，确定微夹钳的结构形式与几何尺度时必须做到精确与可行； 基于所确定的微夹钳的几何尺度，采用有限元分析法，确定微夹钳的张合量同驱动电压的关系、夹持力同张合量的关系以及最大夹持重量，分析静态响应，动态响应； 分别基于Pro/E、AutoCAD绘制微夹钳的三维造型图，装配图与零件图。 三、研究的方法与技术路线 首先确定钳指基板的材料，结构形式和几何尺寸；然后学习有限元分析，利用该软件对压电陶瓷单晶片执行器进行计算，从而分析微夹钳张合量同驱动电压的关系、夹持力同张合量的关系以及最大夹持重量；使用Pro/E绘制微夹钳的三维造型图、装配图与零件图； 掌握压电原理 掌握压电原理 选取钳指材料 查阅书籍 及文献 确定结构尺寸 有限元分析 数据分析 三维制图 四、研究的总体安排与进度 确定压电微夹钳的材料、结构形式以及几何尺寸。基于压电陶瓷单晶片执行器，采用有限元分析法，确定微夹钳张合量同驱动电压的关系、加持力同张合量的关系以及最大夹持重量；绘制微夹钳的三维造型图、装配图与零件图。 [1-4周] 查阅文献，完成外文翻译、文献综述和开题报告（4周）； [5-6周] 确定压电微夹钳的材料、结构形式以及几何尺寸（2周）； [7-12周] 基于压电陶瓷单晶片执行器，采用有限元分析法，确定微夹钳张合量同驱动电压的关系、加持力同张合量的关系以及最大夹持重量（5周）； [13 周] 绘制微夹钳的三维造型图、装配图与零件图（1周） [14 周] 撰写毕业论文（1周）。 参考文献： 尹燕丽, 朱邦太, 陈海龚, 曹长江. 毫米级微型机器人操作手的研制和操作特性. 光学[J]. 精密工程 2001, 9(6): 531~534. 甫志刚, 黄心汉. 机器人压电陶瓷微操作手的设计[J]. 先进制造技术, 2004, 23(2）: 21~22, 35. 陈国良, 黄心汉, 王敏. 面向微装配的压电陶瓷微夹钳建模与控制①[J]. 高技术通讯, 2006, 16(11): 1134~1138. 陈海, 孟中岩, 曹长江, 张 琛. 梯度功能压电陶瓷微夹钳的设计和操作原理[J]. 上海交通大学学报, 2002, 36(5): 620~623. 陈立国, 荣伟彬, 孙立宁. 面向微操作的组合式微夹持器[J]. 哈尔滨工业大学学报, 2006, 38(6): 862~864. 胡斌梁, 陈国良. 压电陶瓷微夹钳迟滞环自适应逆控制研究[J]. 中国机械工程, 2006, 17(8): 798~801. 蔡建华, 黄心汉, 吕遐东, 王敏. 一种集成微力检测的压电式微夹钳[J]. 机器人. 2006, 28(1): 59~64. 曾祥进, 黄心汉, 王敏. 基于Dahl模型的压电陶瓷微夹钳控制研究[J]. 中国机械工程, 2008, 19(7): 766~769. Nikolas Chronis and Luke P. Lee. Electrothermally Activated SU