用亚稳态氩原子束制作纳米结构-光学精密工程.PDF

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2019-07-06 发布于天津
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用亚稳态氩原子束制作纳米结构-光学精密工程.PDF

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11 1 Vol. 11 o. 1 2 0 0 3 2 Optics and Precision Engineering Feb . 2003 1004924X( 2003 陈献忠, 高洪涛, 姚汉民, 陈旭南, 李展, 石建平, 陈元培 ( 中国科学院光电技术研究所微加工光学技术国家重点实验室, 四川成都610209 ) : , , , SAM (self_assembled monolayers) , : 亚稳态原子; 纳米结构制作; 光驻波淬火 : T 305.7 :A , 1 引言 , , ( 0. 01 nm) , , 21, , , , , , 50 nm , , [4] 20 nm A A 0. 7, , Monte_Carlo g (436 nm) i (365 nm) , (DUV) KrF( 248 nm) ( VUV) ArF( 193 nm) F ( 157 nm) 2 , 2 基本原理 , , , 100 nm , , , , X 1 , Jabez McClellandMara Pren ,, tiss George Whitesides 2 [1_3] :, : : ( A2K0009) (KFS4) 1 , : 7 , | m | g 12 eV,