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40GHz陶瓷衬底SOLT校准片研制.PDF
微波学报 Vol. 30 No.3
第 30 卷第 3 期
2014 年6 月 JOURNAL OF MICROWAVES Jun .2014
文章编号: 1005-6122( 201 4 ) 03 -0080 -04
40GHz 陶瓷衬底 SOLT 校准片研制
与定标技术研究*
殷玉站l 仲博涵2 阐劲松l 王文峰l 张继平l
(J工业和信息化部电子四院计量与检测中心，北京 100176; 2 北京理工大学信息与电子学院，北京 10008 1 )
摘 要: 在片测试系统在微波单片集成电路 MMIC 的设计建模及生产检验中有着必不可少的作用。 由于测试
参考面从矢网的同年IIJ 接口转移到微波探针因此需要用共面波导校准片校准。 设计制作了用于在片测试系统校准
的陶瓷衬底的 SOLT 校准片，并对校准片进行了建棋，提取出了 1 -40GHz 频段内片上负载及短路件的等效电阻及寄
生电感参量、直通件的延时参量。 片上负载的电阻分量约为 45n ，恒l 波损耗在 1 - 30GHz 小于-20dB; 在 30 - 40GHz
小于一IOdB。 验证了 SOLT 校准片设计、制作及定标的整个工艺过程的有效性c
关键词: 在片，校准，开路短路负载直通(SOLT) ，建模
Research on 40GHz AI 0 SOLl咱 Calibration Substrate Design
2 3
and Parameter Fitting
YIN Yu-zhe ,ZHONG Bo-han2 , KAN Jin-song , 飞再IANG 明len-feng , ZHANG Ji-ping
( 1. Test and Metrology Center , Chinα Electronics Standdrdizαtion Ins lÍtute ,Beijing 100176 , China;
2. School of 1l1formαt ion and Electronics ,Beijïng InstÌlllte of Technology ,Beijing 100081 , China)
Abstract: On-wafer testing system is necessary thru the whol e design/modeling and manufacture/verification process
of MMIC. Coplanar waveguid e calibration chip is used to calibrate th e mi crowave probe , since th e reference plane is tran s-
ferred from coaxial network analyzer 10 mi crowave probe. This paper designed and manufa ctured AI 2 0 ,based SOLT calibra-
tion subst ra te. The calibration chip is modeled. The load and short modules equivalent resistanc e and parasitic induct
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