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以有限元素法分析表面聲波元件之特性
Analysis of Surface Acoustic Wave Devices Using Finite
Element Method
研究生 : 林君潔 撰
指導教授 : 王曙民 博士 共同指導教授 : 翁偉中 博士
義守大學
電機工程學系碩士班
碩士論文
A Thesis Submitted to the
Department of Electrical Engineering
of I-Shou University
in Partial Fulfillment of the Requirements
for the Master Degree
with a
Major in Electrical Engineering
June 2008
Kaohsiung Taiwan
Republic of China
中華民國 九十七 年 六 月
以有限元素法分析表面聲波元件之特性
研究生：林君潔 指導教授：王曙民
共同指導教授：翁偉中
義守大學電機工程研究所
摘要
表面聲波元件(surface acoustic wave devices, SAW devices)目前被廣泛地應用在無線
通訊系統 (wireless communication system)中，而耦合理論模型 (coupling-of-modes model,
COM model)則是研究表面聲波元件的重要方法之一。隨著壓電材料 (piezoelectric
materials)日新月異以及表面聲波元件基板結構由單層 (single-layer)至多層(multi-layers)
之發展，早期適用於分析單層基板結構表面聲波元件之耦合理論模型在計算耦合參數時
變得更加困難。本論文之研究將以有限元素法 (finite element method)為基礎理論所開發
之 COMSOL Multiphysics軟體做模擬，藉由找出單一壓電材料與單層基板結構表面聲波
元件在短路柵(short circuit)與開路柵(open circuit)特性下之頻散(disp
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