基于FFT的散斑干涉术测物体变形-激光与红外杂志.PDF

第４２卷　 第２期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．２ 　 ２０１２年２月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｆｅｂｒｕａｒｙ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０２０１２４０５ ·激光应用技术 · 基于ＦＦＴ的散斑干涉术测物体变形 黄　芳，张文静，王海燕，于远航，王文生 （长春理工大学光电工程学院，吉林 长春 １３００２２） 摘　要：在ＳＰＩ测量变形物体三维位相的原理上，提出了用一个干涉图法，基于二维ＦＦＴ实现 了散斑干涉图三维位相测试的新方法。选用马赫－泽德干涉系统，用ＣＣＤ分别接收物体变形 前后的散斑图，将两幅散斑图相减可以得到变形物体的散斑干涉条纹图。应用ＭＡＴＬＡＢ软 件编程对散斑干涉图进行二维ＦＦＴ运算，获得变形物体的三维位相。由三维位相分布可以判 读物体的三维变形，进而为后续分析物体的三维应力奠定基础。实验表明，该方法简单、速度 快，精度可达到 ／１０。 λ 关键词：散斑干涉术；马赫－泽德系统；散斑干涉条纹；一个干涉图法；二维ＦＦＴ 中图分类号：ＴＮ２９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１２．０２．００２ ＯｂｊｅｃｔｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｂａｓｅｄｏｎＦＦＴ ｓｐｅｃｋｌｅｐａｔｔｅｒｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ ＨＵＡＮＧＦａｎｇ，ＺＨＡＮＧＷｅｎｊｉｎｇ，ＷＡＮＧＨａｉｙａｎ，ＹＵＹｕａｎｈａｎｇ，ＷＡＮＧＷｅｎｓｈｅｎｇ （ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００２２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇｔｈｅ３ＤｐｈａｓｅｏｆｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｂｊｅｃｔｗｉｔｈＳＰＩ，ｏｎｅｓｔｅｐｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｐａｔ ｔｅｒｎｍｅｔｈｏｄｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．ＡｎｄｂａｓｅｄｏｎｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎＦＦＴ，ａｎｅｗｍｅｔｈｏｄｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇ３Ｄｐｈａｓｅｏｆｓｐｅｃｋｌｅｉｎｔｅｒｆｅｒｏ ｇｒａｍｉｓｒｅａｌｉｚｅｄ．ＣｈｏｏｓｉｎｇＭａｃｈＺｅｈｎｄｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｓｙｓｔｅｍａｎｄｕｓｉｎｇＣＣＤｔｏｒｅｃｅｉｖｅｔｈｅｓｐｅｃｋｌｅｐａｔｔｅｒｎｏｆｔｈｅｏｂ ｊｅｃｔｂｅｆｏｒｅａｎｄａｆｔｅｒｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ，ｔｈｅｓｐｅｃｋｌｅｐａｔｔｅｒｎｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｉｇｕｒｅｏｆａｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｂｊｅｃｔｃａｎｂｅ ｇｏｔｔｅｎｂｙｓｕｂｔｒａｃｔｉｎｇｔｈｅｔｗｏｓｐｅｃｋｌｅｐａｔｔｅｒｎ．ＰｒｏｇｒａｍｍｉｎｇｗｉｔｈＭＡＴＬＡＢｓｏｆｔｗａｒｅｔｏｍａｋｅＦａｓｔＦｏｕｒｉｅｒＴｒａｎｓｆｏｒｍｏｆ ｔｈｅｓｐｅｃｋｌｅｐａｔｔｅｒｎｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｉｇｕｒｅ，ｔｈｅ３Ｄｐｈａｓｅｏｆｔｈｅｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｂｊｅｃｔｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｆｒｏｍｔｈｅ３Ｄｐｈａｓｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ，３Ｄｏｂｊｅｃｔｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｃａｎｂｅｄｅｔｅｃｔｅｄａｎｄｊｕｄｇｅｄ．Ｔｈａｔｌａｙｓｔｈｅｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｆｏｒｆｕｒｔｈｅｒ３Ｄｓｔｒｅｓｓａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆｔｈｅｏｂｊｅｃｔ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｍｅｔｈｏｄｉｓｓｉｍｐｌｅ，ｆａｓｔａｎｄａｃｃｕｒａｔｅ．Ｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｃａｎｒｅａｃｈｕｐｔｏ λ／１０． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＳＰＩ；ＭａｃｈＺｅｈｎｄｅ