氢热等离子体还原四氯化硅制备三氯氢硅的能耗分析.pdf

第 39 卷第 5 期 张灵翠 等：利用配位反应法制备多孔阳极氧化铝/氧化锌纳米线阵列 · 769 · 第 39 卷第 5 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 39 ，No. 5 2 0 1 1 年 5 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY M a y ， 2 0 1 1 氢热等离子体还原四氯化硅制备三氯氢硅的能耗分析 黄志军，覃 攀，吴青友，李育亮，王子松，尚书勇，戴晓雁，印永祥 ( 四川大学化学工程学院等离子体应用研究中心，成都 610065) 摘 要：利用 40 kW 直流氢热等离子体氢化还原改良西门子