测控仪器设计 第三章内容资料.ppt

测控仪器设计 ;第三章 测控仪器总体设计;概述;第一节 设计任务分析与创新点的构思 ;一、设计任务分析 ㈠ 参数特点 ㈡ 参数载体（测控对象） ㈢ 功能要求 ㈣ 使用条件 ㈤ 国外现状 ㈥ 国内现状;二、创新点的构思 三坐标测量机侧头的改进例子 体积缩小、Abbe误差减少;;;第二节 测控仪器设计原则;对于直线尺寸测量仪器的设计，1890年阿贝提出一条指导性的原则： 阿贝原则;Abbe原则： 为使量仪能给出正确测量结果，必须将仪器的读数刻线尺安放在被测尺寸线的延长线上 被测零件的尺寸线和仪器中作为读数用的基准线（刻线基准）应顺序排成一条直线;举例1：游标卡尺;举例2：Abbe比较仪;举例2：Abbe比较仪;举例2：Abbe比较仪;参数计算误差：;为什么Abbe比较仪的误差小？ 比较两个误差公式：;误差和倾斜角成一次方关系，习惯上称为一次误差 误差和倾斜角成二次访关系，习惯上称为二次（微小）误差 遵守阿贝原则可消除一次误差，而仅留有二次微小误差 ;所有的仪器都遵守Abbe了吗？ 没有！不适合Abbe原则的情况 外观尺寸过大 多自由度测量仪器;思考 一次误差和二次误差的几何意义 想一想你知道的符合Abbe原则的测量器具、仪器或方法;Abbe原则的扩展 标尺与被测量一条线 若做不到，则应使导轨没有角运动 应跟踪测量算出偏移加以补偿 ;（一）Eppenstein光学补偿方法 用硬件来实现补偿：结构布局来实现误差补偿;（一）Eppenstein光学补偿方法;高精度测长机 不符合Abbe原则 瞄准视场中出现相同偏移 再次瞄准即在运动中进行了补偿，∵ΔL=S1S2,h=f误差自动消失; （二）激光两坐标测量仪中监测导轨转角与平移的光电补偿方法;;;测量符合Abbe原理 平面转角用补偿来消除 典型的光机电算一体化仪器 系统比较复杂;（三）以动态准直仪来检测导轨摆角误差的电学补偿方法(实时补偿概念，计数器直接补偿);（四）平直度测量过程中的阿贝误差补偿 布莱恩：“平面度测量系统的工作点应该位于垂直于滑块移动方向的，并通过测量点的方向线上”;（四）平直度测量过程中的阿贝误差补偿 布莱恩：“…若做不到在方向线上，则应使导轨没有角运动” 针对三座标机等测量直线度;;（五）遵守阿贝原则的传动部件设计;讨论 测量孔径时遵守Abbe原则的困难;思考：;二、变形最小原则及措施;变形最小原则：尽量避免在仪器工作过程中，因受力变化或因温度变化而引起的仪器结构变形或仪器状态和参数的变化;仪器承重变化，引起仪器结构变形而产生测量误差 温度变化引起仪器或传感器结构参数变化，导致光电信号的零点漂移及系统灵敏度变化 要求仪器变形要小;（一）减小力变形影响的技术措施;一米激光测长机;1;重量=测量头架+工件 ? 变形 尾座轴线有5”倾角时的误差：;①固定角隅棱镜与尾座固连在一起 ②固定角隅棱镜的锥顶安放在尾杆的轴线离底座导轨面等高的同一平面内 ③可动角隅棱镜的锥顶位于测量主轴的轴心线上（符合阿贝原则） ④尽可能减小固定角隅棱镜和尾杆在水平面内的距离d;1;1)、尾座有倾角Δθ: 对零时： 测量时： 结果：;消除误差的对应措施： 第一、第二条措施 尾座零位变化 Δ1 固定角偶棱镜也是变化Δ1 相互抵消;2)、测量头架有倾角 由于第三条措施，符合Abbe原则而忽略不计 3)、尾座有摆动 不能消除，但是d尽可能减小就是针对这个设计的;2.光电光波比长仪消除力变形的结构布局;减少误差的措施 采用了工作台、床身、基座三层结构 光电显微镜、固定参考镜和干涉系统的分光镜：相对位置严格保持不变 支撑床身的三个钢球支撑结构各不相同;（二）减小热变形影响的技术措施;①采用恒温条件：减小温度变化量 ②选择合适的材料：减小线膨胀的影响，或选用线膨胀系数相反的材料在某些敏感环节上进行补偿;③采用补偿法：如测出被测件与标准件的温度t1和t2，被测件与标准件的线胀系数a1和a2，则温度误差的修正公式为： 式中，L为被测件的标准长度;1. 丝杆动态测量仪对环境条件及温度变化影响的补偿 温度?丝杆?波长 计算的补偿量在1m范围内均匀以脉冲数进行补偿;2. 扩散硅压力传感器零点温漂的补偿 扩散硅压力传感器(传感+转换)： ①扩散电阻的离散性很大，桥路各电阻值不等，即R1≠R2≠R3≠R4 ②扩散电阻的各个电阻温度系数不等，即a1≠a2≠a3≠a4 ③扩散电阻随温度非线性变化;⑴桥路的平衡条件 (压力有关);设计若能满足以下条件，则可消除误差：;⑵串、并联电阻对电阻温度系数的影响 1)在电阻为R的扩散电阻上串联电阻RS ;串联电阻后其电阻温度系数降低 ;2)在扩散电阻上并联电阻RP ; ? ? 并联后同样也能降低电阻温度系