表面分析试验室.doc

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表面分析實驗室 (Auger/X-ray induced Photoelectron Spectroscopy) (一)、儀器設備 儀器購置年月:1998年5月 儀器放置地點:台大化工系113室 儀器經費來源:台灣大學跨院系經費購置 廠牌及型號:英國VG MICROTECH, MT-500 重要規格: (1) Auger 電子鎗用LEG200 Tungsten filament, 電壓為0.1-10kV (2) XPS X-ray源:Al Kα(1486.6eV)或Mg Kα(1253.6eV) (3)能量分析儀採CLAM4 MCD electron Analyzer 加上9 channel detector (二)、服務項目 X光電子能譜儀(XPS)及歐傑電子能譜儀(AES)是一種分析材料表面組織形態及化學結構的儀器,可適用於電機、機械、電子、化工、化學、材料等研究領域。 Auger表面成份分析 XPS (ESCA) 表面元素分析 (electron spectroscopy for chemical analysis) XPS 化學位移(Chemical Shift) ? (三)、申請服務辦法 請以電話(02或傳真(02 HYPERLINK .tw/chinese/esca/%A7%DE%B3N%AAA%B0%C8%A5%D3%BD%D0%AA%ED.doc 申請表(自 HYPERLINK .tw/chinese/esca/index-1.htm .tw/chinese/esca/index-1.htm下載)或E-mail: HYPERLINK mailto:chaolinglai@.tw chaolinglai@.tw預約。 說明樣品性質和委託項目,待儀器負責教授簽核後,依申請次序服務。 樣品規格 面積小於0.7cm*0.7cm之方形或直徑0.9cm之圓形,厚度小於0.5cm 。 低揮發性物質為限,置入真空腔後,在1小時無法抽至10E-7 torr以下,試樣退回 。 樣品不得具有磁性,毒性或輻射性。 非導體不得做AES 。 粉粒體試樣需先壓片,厚度小於0.1cm 如為揮發性高分子樣品或具揮發性覆膜,務必自行先在真空高溫爐中抽除揮發性分子,否則易遭試樣退回 。 本實驗室以電話通知送樣,送樣當天先置入真空腔抽真空,隔天才能分析,分析進行時,常得視初始實驗情況決定分析條件,委託者若能到場,可能有助於分析的進行。 有關AES/XPS的基本知識和能譜的解釋,請自行負責。 送件樣品請符合以上規格,若面積過大,應自行裁切適當,方可置入。 一個樣品建議送兩件,萬一發生問題可以立即備用,不至耽誤分析,如不用則分析後歸還。 分析數據電腦檔案以E-mail傳送,或請自備磁片。 (四)、收費標準 服務收費標準以操作時間計算(包括樣品處理、抽真空、儀器分析、數據處理等等),每小時收費標準依據發票抬頭區分如下 校內: 化工系(抬頭:台大化工系)-每小時500元, 其它系所(抬頭:台大##院系所)-每小時1000元。 校外: 每小時2500元 速件費: 加收50%(五天內交報告) (五)、回件時間 約送件後兩星期左右(視樣品排序量多寡而異)或另議。 (六)、聯絡人 儀器指導教授:吳紀聖 教授 電話:(02)2363-1994??????E-mail: HYPERLINK .tw/chinese/esca/chaoling@.tw HYPERLINK mailto:cswu@.tw cswu@.tw 技 術 員:賴昭伶小姐 (02)3366-3009 , FAX : (02)E-mail: HYPERLINK .tw/chinese/esca/chaoling@.tw HYPERLINK mailto:chaolinglai@.tw chaolinglai@.tw 柒、管理運作辦法 第一條:為增進「ESCA 及 AES表面分析儀系統」之發展及使用效益,提供各界所需之研究支援,加速提升科學研究水準,特此成立「台灣大學工學院化學工程學系ESCA 及 AES表面分析儀系統管理運作委員會」(以下簡稱本會)。 第二條:本會之任務如下: 一、儀器購置與升級。 二、儀器設備運作與管理。 三、使用糾紛之協調與仲裁。 四、收費標準之制訂與修訂。 五、訓練博士班學生操作本分析儀系統,其分析費用減半,實施辦法另訂。 六、協助培訓人才,視需要開設儀器講習及短期訓練班。 第三條:本會設有召集人一人,管理委員二至五人。儀器指導教授為當然之召集人,負責本分析儀系統技術諮詢與服務工作之進行。系主任為當然之委員,其餘委員由召集人推薦校內外學者

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