溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性-发光学报.PDF

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2019-07-06 发布于天津
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溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性-发光学报

22 2 Vol1 22 No.2 2001 6 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE June, 2001 溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性 1,2 1,2 1 2 林碧霞 , 傅竹西 , 贾云波, 廖桂红 ( 1. ; 2. , 230026) : , , , , , ,ZnO : ; ; ; : O48213 : A : 1000-7032(2001)02-0167-05 UV Lasers eat the lues?0 1 前言 ZnO / 0 ,/ ZnO 500e , ,ZnO 0 ZnO , , [ 1] , ZnO , Si [2] ZnO , ZnO [ 3] [4] [ 11~ 14] , , GaN [5,6] ZnO , , ZnO 3136eV, GaN 2 实验 , 60meV, , ZnO Si ZnO ( ) , , , 5cm ; , 1B1/ ; , 20W; 1: 300 e ; ZnO 200nm ZnO , ZnO 800~ 1000e 1 , D/ MAX-RA X , 1997 D. M. ; YFC-1 agnallZ.K. Tong ZnO 850 [ 7~ 10] ZnO GaN , 210nm ; 10kV, , , 1LA, 10kV 97 1mm ( , 5Science61997 276 / Will 0102LA 3LA) , : 2000-06-27; : 2000-09-2