磁控溅射！#薄膜生长等离子体发射光谱研究！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 33 6 %$$# 6 ， ， ， HN 033 TN 0 6 .DADUE %$$# （ ） $$$8%I$,%$$#,33 $6 ,’%%8$# .KJ. OPQRSK. RSTSK. #%$$# K@;) 0 O@U 0 RNG 0 ############################################################### 磁控溅射!# 薄膜生长的等离子体发射光谱研究! 李 勇 孙成伟 刘志文 张庆瑜! （大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 #$% ） （ 年 月 日收到；