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工业专用设备
圈：墨 ·制造工艺与设备·
砂轮划片机z向工作台机械结构
关键技术的研究
杨树文
(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊101601)
摘 要：通过滚动直线导轨应用理论和应用技术的研究及滚珠丝杠副应用技术的分析，针对砂轮
划片机：向工作台运动特点，设计了z向工作台机械结构，并分析了系统的刚性误差，通过检测
和实际使用验证了设计结果。
关键词：滚动直线导轨；滚珠丝杠副；重复精度
中图分类号：TN305．1 文献标识码：A
onthe Mechanical
Study Key Technology
for Saw
of彳AxisWorktable
Dicing
、ANGShu．wen
45thInstitute East
(The Yanjiao101601，China)
ofCETC，Beijing
the linear and and theball
technology
researchingrolling applicationtheory analyzing
Abstract：By
mechanicalstructureat
screw the二axisworktable
designed aiming
applicationtechnology，thispaper
the confirmedthe result
itsmovement through
characteristics，analyzedsystemrigiderror，and design
andtheactualuse．
thedetection
effect linear；Ballscrew；Repeatprecision
Keywords：Averagingprinciple；Rolling
1 引言 要求重复精度高，低速时不易产生爬行，频繁换向时
易于启动。要求系统刚性高，运动平稳，误差小。
砂轮划片机属于电子专用设备，主要用于硅集
成电路、发光二极管、压电陶瓷、石英、砷化镓和玻璃 2 滚动直线导轨应用理论及应用技术
等材料的分割划切。该设备z向工作台(竖直使用)带
动空气静压主轴在划切过程中做频繁快速往复运 2．1滚动直线导轨应用理论一一平均效应原理
动，在刃具测高过程中低速运动。因此，z向工作台 在运动副和定位机构设计中，采用运动学设计
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