02第二章激光干涉测量技术(上)讲解.ppt

2.表面轮廓测量 设渥拉斯顿棱镜的剪切方向为x，则干涉场上的光强分布为 被测表面轮廓满足下面方程 可通过旋转检偏器对微分干涉图像进行调制，采用移相干涉技术直接测量被测位相的分布。与压电移相干涉方法相比，这种旋转检偏器移相的方法不存在非线性、滞后和漂移等问题，具有很高的测量准确度。 由于采用CCD和计算机组成的数字图像采集系统，表面轮廓的坐标量被量化了，可以用数值积分的方法计算表面轮廓。将积分区间分成n等份，则积分步长为△=l/n，积分点 ,设起始点轮廓高度为0，则 3.MEMS器件微运动测量 频闪显微移相干涉系统采用频闪成像以及基于最小二乘法的图像相关技术实现面内微运动的测量。运动幅度分辨率在20X物镜下为3.6nm，采用频闪成像以及相移干涉技术实现离面微运动的测量，运动幅度的测量范围为20um,分辨率为0.7nm，可测量的周期运动频率达500kHz。 3.Renishaw新型单频激光干涉仪 D1、 D2、 D3的信号分别为 经过差分放大后 调节运放消去直流分量，使交流幅值相等 在仪器中查表可得到相位值 QWP Retro-reflector PBS PBS QWP HWP BS D1 D2 D3 D4 He-Ne Laser QWP Retro-reflector PBS Measured mirror 偏振干涉仪光学细分和移相 优点: 去掉直流分量和实现共模抑制；三个信号完全共路，有效地去掉了外界振动等噪声，保证了干涉仪低频稳定性 4. 激光小角度干涉仪 原理: 利用激光干涉测位移和三角正弦原理 角锥棱镜2与反射镜5的作用: 使测量光束按原路返回，不产生光点的移动，保证干涉图形相对接收元件的位置保持不变。 角锥棱镜在位置Ⅰ和位置Ⅱ的光程差为 位移为 则被测角度为 改进:为消除偏心和轴系晃动等误差，并提高灵敏度，在对称直径位置上布置两个角锥棱镜 测量范围：±1°以内，最大测量误差± 0.05 ″ 为扩大量程，采用移动式转向反射镜，测量范围可达95°,测量精度±0.3″ * 傅立叶变换光谱仪 【补】 按照分光原理，光谱仪器可分为三类： 棱镜光谱仪、光栅光谱仪、干涉光谱仪 基于干涉原理的典型光谱仪器：法珀干涉仪、傅立叶变换干涉仪 法珀干涉仪的缺点：自由光谱范围小，需要与单色仪联合使用，分辨率高 色散型光谱仪的缺点：自由光谱范围大，但分辨率较低，为保证光谱分辨率，色散型光谱仪必需使用狭缝，这样导致光谱仪的分光本领减小，光谱仪检测的灵敏度降低。 干涉仪产生的干涉条纹是光谱相干涉的结果，能否利用干涉条纹的信息去获得相干光谱的信息？也就是从分析干涉条纹得到参与干涉的光谱线的位置（波长）及其强度呢？ 光谱仪器把被研究的辐射分解为光谱，记录单条谱线的位置，并测量其强度。 对于单色光谱： 对于复色光谱： 复色干涉图是单色干涉图的加合。由于零程差时各单色光的干涉强度都为极大值，其它光程差时各单色光相长或相消，加合的结果形成一个中心突起并向两边迅速衰减的对称图形。 傅立叶变换光谱仪的优点：能同时接收工作波段范围内的所有光谱，记录全部光谱时间与一般光谱仪器记录一个光谱分辨单位的时间相同，在不到1秒时间内完成全部光谱扫描。信噪比高，波长准确度高，分辨率高，杂散辐射低，以及光谱范围宽（从紫外、可见、近红外直到中远红外区） 单频激光干涉仪的特点： §2.2 激光外差干涉测量技术 1.测量精度高，但前置放大器为直流放大器； 2.对环境要求高，不允许干涉仪两臂光强有较大的变化； 原因：输出信号的频率随测量镜的运动速度而改变，当测量镜静止时，输出直流信号； 原因：干涉仪光强的变化总要以计数器的平均触发电平为中心对等分布，如果光强由于外界环境干扰引起变动，则干涉信号强度就可能落于触发电平之下，从而使仪器停止工作。 解决方案：在某一光臂中引入一定频率的载波，被测信息通过载波传递：测量镜静止时，光电探测器的输出信号为载波频率的交流信号；测量镜运动时，输出信号的频率只在某一范围内增加或减少。使前置放大器可采用交流放大器，可以隔绝由于外界条件引起的直流电平漂移，可在现场稳定工作。 这种利用外差技术的干涉仪，称为外差干涉仪或者交流（AC）干涉仪 优点：1、滤掉了背景噪声； 2、 滤掉了直流放大器的噪声。 光学拍频原理：两个振幅相同、振动方向相同，且在同一方向传播，频率接近的两单色光叠加也能产生干涉，这种特殊的干涉称为光学“拍”。 塞曼效应和声光调制是实现光学“拍”的常用方法 塞曼双频激光：两个旋转方向相反的左旋和右旋圆偏振光，振幅相同，频率相差很小，一般为1~2MHz。 设左旋圆偏光频率为f1，右旋圆偏光频率f2，初始相位为零，振动方程分别为 光束通过偏振方向与y轴平行的偏振片，则x方向分量被截止，y方向分量通过。按光波叠加原理