大连理工大学,机械工程学院,机械电子学第六章检测部件.pptVIP

串行式绝对式光栅 6.3.1 四倍频及辨向电路 6.3 反馈脉冲的计数 6.3.2 UP/DOWN计数电路（可逆计数电路） 例如： 同步4位二进制UP/DOWN计数器74LS169 6.3.3 专用的正交脉冲解码/计数电路 Agilent 公司的HCTL 20XX 系列： LSI 公司的24位多功能计数器LS7166和LS7266R1： 第六章 检测部件 接触式 非接触式 触发测头测量 三维跟踪扫瞄 光学测量：红外、激光、结构光 X射线测量 涡流测量，等等 超声波测量 6.1 几何量的检测方法 英国Ferranti 公司早在50 年代开始研制 德国Zeiss 公司于1973 年推出UMM500 三坐标测量机。70 年代末期，Zeiss 公司研制出气浮导轨(空气轴承)，采用花岗岩材料作为三坐标测量机的工作台、横梁和主轴，提高了测量精度。 还有瑞典的海克斯康、意大利的DEA 公司、美国的Brown-Sharpe 公司、英国的ZK 公司、比利时的Metris公司等。 三坐标测量机 （Coordinate Measuring Machine，CMM） ZEISS CMM 桥式、龙门式、单臂式 接触式触发测头 非接触式光学测头 ZEISS CMM 适用的测头 CMM的触发式测头工作原理 脉冲计数 锁存器 计算机 触发测头 光栅尺 CMM的坐标测量原理 便携式CMM 超声波测厚 根据超声波脉冲反射原理来进行厚度测量。当探头发射的超声波脉冲通过被测物体到达材料分界面时，脉冲被反射回探头，通过精确测量超声波在材料中传播的时间来确定被测材料的厚度。 X射线检测系统 涡流测量 新型的涡流传感器可精确测量所有类型的金属目标物 三角法激光位移测量 硅晶片的厚度 高速旋转物体的震动 轮胎表面形貌 生产线零件计数 光驱回转精度 金属薄板翘曲 激光干涉仪主要用于机械制造设备的精度测量。 美国HP公司，97年仪器部分独立成立Agilent（安捷伦）公司 英国Renishaw公司，亦是著名的触发测头和扫描测头制造商 美国API公司，美籍华人创建的公司，87年成立 美国OPTODYNE（光动） ，美籍华人创建的公司 干涉法激光位移测量 Renishaw ML10 GOLD激光干涉仪 API激光干涉仪 定位精度测量 垂直度测量 直线度测量 非接触三维测量 采用光学测量方法，主要有激光（线、阵列）和结构光（白光）。 生产厂家主要集中在欧洲，特别是德国；日本的柯尼卡-美能达；中国的2~3家。 非接触测量对模型材料表面硬度没有要求，不会对模型表面造成划伤，测量效率高。 精度不如接触式测量（例如触发测头），模型表面不宜太亮或极暗。 文物 医学 工业 柯尼卡美能达 VIVID 9i 采用线状激光束扫描方式，使用CCD相机接收反射光束。根据三角测距原理获得与拍摄物体之间的距离，进行三维数据化处理。 德国GOM 公司的ATOS 系统 ATOS 系统采用结构光测量的方式, 利用光栅投影单元将一组具有相位信息的光栅条纹投影到测量工件表面，利用左右两个高分辨率数码相机进行同步测量, 利用立体相机测量的原理, 可以在极短的时间内获得物体表面大量的三维数据。 Leica激光跟踪仪 马达：用于动态跟踪与定位 高精度垂直和水平角度编码器 手持式反射镜：用于采点 高精度绝对测距仪 高精度激光干涉仪 位置探测器：高速高精度跟踪 支撑底盘：稳固并易于移动 6.2 机电系统中的实时位移检测部件 脉冲编码器： 角位移的测量 光栅尺： 直线位移的测量 脉冲编码器的工作原理 光栅尺工作原理 脉冲编码器和光栅尺的输出信号 1Vpp型 TTL型 零脉冲的作用: 实现增量式反馈系统初始化上电后的精确回零。 绝对式脉冲编码器和光栅尺