XPS的应用及举例解析.pptVIP

不对称布拉格反射几何 STD方法的非偶合扫描模式?(?)?2? ：将试样相对于入射线固定在?的位置，2?（即探测器）扫描，以便记录来自满足布拉格衍射条件的那些晶面的反射线束，由此可知，这样的晶面不再与试样表面平行，而是成一定角度，此角度值由方位角方程决定。 二维X射线衍射的特点 (1) X射线穿透深度连续可调 (2) 可观察不同取向晶面的分布情况 采用CBD方法观测的所有晶面总是平行于试样表面而STD方法所观测的晶面—般说来倾斜于试样表面，其倾斜程度取决于布拉格角和倾斜角。 3．物相的纵向深度分析 图6 TiN+Ti膜的XRD谱 (a)CBD方法 (b)STD方法?0=5? (c) STD方法?0=2? (d) STD方法0=0.6? 例：利用CBD和STD技术对有取向的TiN+Ti薄膜进行纵向分析。该膜厚度为0.4?m，是用PVD法沉积到不锈钢衬底上。 对于给定反射，所观测晶面的取向以及观测深度都随?0而变化。当?0由5.0?降低到2.0?和0.6?时，TiN111和TiN200反射线呈现增强趋势，而Ti002反射线和衬底同步地呈现降低趋势，特别是当?0=0.6?时，只有TiN相出现。这说明TiN膜富集于表面层，而Ti是介于衬底和TiN膜之间的过渡层。再从各晶面的取向上看，TiN(220)和Ti(0