2018河北科技进步奖提名公示.DOCVIP

PAGE PAGE 8 2018年度河北省科技进步奖提名公示 124-401 项目名称：微波单片电路裸芯片自动测试系统现场整体校准技术研究 提名单位：河北省国防科工局 项目简介： 本项目属于“计量科学技术”研究领域，所研究的计量仪器对象为“微波单片电路裸芯片自动测试系统”，属于计量技术研究范畴。 在项目立项以及研究初期，国内对微波单片电路裸芯片自动测试系统的计量主要采用将系统内部多台仪器分别送检。系统需要反复拆装运输，不仅对微波单片电路测试所需的净化环境造成污染，而且忽略了系统内部微波电缆、矩阵开关、探针台等的插入损耗、失配以及频率响应对测量结果的影响，使测试系统没有实现整体有效溯源，对微波单片电路的测试工作造成了巨大的困扰。为了解决上述问题，项目研究了一种“微波单片电路裸芯片自动测试系统现场整体校准方法”，解决了微波单片电路裸芯片自动测试系统中的在片S参数、在片噪声系数和在片功率的量值溯源问题。 项目开展的研究工作包括：1）组建在片标准件定标系统2）研究“在片标准件定标系统”的溯源方法；3）研制量传标准件；4）研究“在片标准件”的定标方法；5） 开展量传标准件定标工作，完成现场整体校准工作，并评定不确定度。 取得的创新性成果如下：1）采用测量验证件三维物理尺寸的方法，结合微波电磁场仿真技术，完成了在片S参数至几何量的完整溯源；2）建立了在片噪声相关矩阵去嵌入模型，提出“在片有源器件和无源器件相结合”的噪声系数校准方法，并实现该方法在“在片”测量领域的应用研究；3）研制了微带线Multi-TRL 校准件，结合美国国家标准物质研究院（NIST）发明的Multi-TRL校准方法，实现校准后的参考平面位于管芯根部，提高了器件模型建立中所需的S参数测量准确度。4）完成技术文章7篇，获得授权发明专利1项，申请行业计量规范两项，并全部颁布实施。 主要完成单位及创新推广贡献： 本项目由中国电子科技集团公司第十三研究所独立完成全部技术工作，在项目研究过程中，中国电子科技集团公司第十三研究所作为项目的承担单位，提供了场地、仪器、样件等必要资源，组建了一支作风过硬、技术领先的科研团队，同时还积极要求行业专家对方案、关键技术评审把关，提升水平。在项目成果的推广过程中，依托中国电子科技集团公司第十三研究所在国内半导体行业领军企业的地位，通过明确责任、加强管理、政策引导多种方式拓展成果推广途径。 推广应用及经济社会效益情况： 该课题的完成，所组建的在片量传标准件定标系统和研制的在片量传标准件，可建立起微波单片电路裸芯片自动测试系统现场整体溯源途径，实现微波单片电路裸芯片自动测试系统的现场整体校准，保证微波单片电路生产测试的准确可靠，提高微波单片电路的生产效益。同时在片量传标准件体积小，易携带，便于推广到全行业应用。本项目完成后，对河北新华北集成电路有限公司、中科院微电子所的微波单片电路裸芯片自动测试系统开展了校准工作，通过对比测量数据，获得了用户单位的认可。另外，还为国防专用集成电路重点实验室承担的研制任务提供了在片S参数测试服务，测试数据给产品改进设计提供了技术支撑。 代表性论文专著目录： 序号 发表时间 文章名称 投稿期刊或会议 检索信息 备注 1 2017.11 Development of a Verification Technique for On-wafer Noise Figure Measurement Systems 2017 90th ARFTC Microwave Measurement Symposium 978-1-5386-4356-3/17/＄31.00?2017 IEEE ISBN 9781538643563 2 2017.8 矢网中噪声选件的校准方法研究 中国测试 第43卷总第229期，10 中文核心期刊 3 2017.1 宽带在片 SOLT 校准件研制及表征 计量学报 第38卷第1期，101 中文核心期刊 4 2018.1 无源器件噪声标准值计算方法的研究 计量学报 第39卷第1期，103 中文核心期刊 5 2016.4 提取共面微波探针S参数的方法 微波学报 第32卷,第2期,38 中文核心期刊 6 2016.1 在片功率参数校准方法研究 宇航计测技术 第36卷,第1期,17 中国科技核心 7 2015.1 单片电路晶体管模型参数提取专用 TRL校准件 计算机与数字工程 第43卷,第1期,23,74 一般期刊 主要知识产权证明目录： 已授权发明专利 序号 已授权项目名称 专利类型 专利号 专利权人 发明人 授权公告日 1 高精度噪声系数测量系统整体校准方法 发明 ZL 2014 1 0496265.5 中国电子科技集团公司第十三研究所 吴爱华、梁法国、刘晨、孙静、孙晓颖、栾鹏 2017年2月15日 已颁