第六章X射线光电子能谱分析.pptVIP

6.2 光电子能谱仪实验技术 3. XPS峰强度的经验规律 （1）主量子数小的壳层 的峰比主量子数大 的峰强； （2）同一壳层，角量子 数大者峰强； （3）n和l都相同者，j大 者峰强。 6.2 光电子能谱仪实验技术 7.2.4 XPS的能量校正 1. 静电效应 在样品测试过程中，光电子不断从表面发射，造成表面电子“亏空”，对金属样品，通过传导来补偿。对绝缘体，会在表面带正电，导致光电子的动能降低，结合能升高。严重时可偏离达10几个电子伏特，一般情况下都偏高3~5个电子伏特。这种现象称为“静电效应 ”，也称为“荷电效应”。 6.2 光电子能谱仪实验技术 2. 校正方法 (1) 外标法（最常用） C 1s结合能：284.6 eV 若荷电效应在实验过程中不稳定，则实验前后各扫一次C 1s谱，取平均值。 （2） 内标法 以相同环境化学基团中电子的结合能为内标； 决定相对化学位移，而不是绝对的结合能 （3）超薄法 6.2 光电子能谱仪实验技术 6.2.5元素的定性和定量分析 绝对灵敏度：10-18g 相对灵敏度：0.1% 1. 定性分析 （1） 先找出C1s、O1s 峰 （2）找出主峰位置，注意自旋双峰，如 p1/2，3/2； d3/2，5/2；f5/2，f7/2，并注意两峰的强度比 （3）与手册对照 6.2 光电子能谱仪实验技术 2. 定量分析 假定在分析的体积内样品是均匀的，则这种从特定的谱线中所得到的光电子数可用谱线包括的面积 I 表示，则元素的原子密度为： S---原子灵敏度因子－可查 两种元素的浓度比： 6.2 光电子能谱仪实验技术 对多种元素中的某一元素浓度： 注意： （1）不适用非均匀样品； （2）对过渡金属，不同的化学状态有不同的原子灵敏度因子； （3）上式的误差10-20% 6.3 X射线光电子能谱的应用 6.3.1 表面元素全分析 1. 表面元素全分析的目的 了解样品表面的元素组成，考察谱线之间是否存在相互干扰，并为获取窄区谱（高分辨谱）提供能量设置范围的依据。 6.3 X射线光电子能谱的应用 2. 方法 （1）对样品进行快速扫描，获取全谱； （2）对谱图中各谱线的结合能进行能量校正； （3）校正后的结合能和标准数据（或谱线）对 照，确定各谱线的归属，即确定各谱线代 表的元素。 6.3 X射线光电子能谱的应用 图7-30 二氧化钛涂层玻璃试样的XPS谱图 6.3 X射线光电子能谱的应用 6.3.2元素窄区谱分析 1. 方法 （1）以全分析谱作为基础，由其确定扫描的能 量范围。 （2）与全谱相比，它的扫描时间长，通过的能 量小，扫描步长也小，这样有利于提高测 试的分辨率。 6.3 X射线光电子能谱的应用 2. 用途 （1）离子价态分析 方法 做试样的XPS谱和标准谱图做对比，或同时做试样和某一价态的纯化合物的XPS谱，然后对比谱图的相似性。 例子：鉴定铜红玻璃试样中铜的价态 6.3 X射线光电子能谱的应用 表明铜红玻璃试样中铜为？价 6.3 X射线光电子能谱的应用 （2）元素不同离子价态比例 方法 对试样做XPS分析，得到窄区谱。 若谱峰不规则，则对谱线进行拟合，得到不同价态元素的谱线； 谱峰解叠 对不同价态的谱峰分别积分得到谱峰面积； 查各价态的灵敏度因子，利用公式求各价态的比例。 6.3 X射线光电子能谱的应用 例子：确定二氧化钛膜中+4价和+3价的比例。 6.3 X射线光电子能谱的应用 （3）材料表面不同元素之间的定量 方法 对试样做XPS分析，得到窄区谱。 根据峰面积和灵敏度因子，利用公式计算各元素的相对含量。 6.3 X射线光电子能谱的应用 （4）化学结构分析 依据：原子的化学环境与化学位移之间的关系； 羰基碳上电子云密度小， 1s电子结合能大（动能小）； 峰强度比符合碳数比。 6.3 X射线光电子能谱的应用 （5）深度分析 原理 用离子枪打击材料的表面，这样可以不断地打击出新的下表面，通过连续测试，循序渐进就可以做深度分析，得到沿表层到深层元素的浓度分布。 利用离子枪依次剥落表面，进行XPS分析，就可以得到深度分布图谱 6.3 X射线光