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高校微电子情况.doc

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这篇文章将向各位研友详细介绍国内数所开设有微电子研招专业的院校,以让大家对之加 深了解,作出选择。 ? 微电子专业方向之细考微电子专业在早期的前身应该是半导体专业,在上个世纪七、八十 年代,人们还总是把半导体专业和收音机联系在一起,直到九十年代到本世纪初,集成电 路产业的迅猛发展才使得微电子从过去的一个由物理专业分支出来的冷门,逐步变成了今 天的热门焦点。从整体来看,已经很难给出一个微电子专业各方向的明晰的划分。微电子 的研究方向划分可以电路设计为主线:电路的加工(工艺方向)、构成电路的物理基础( 器件方向)、电路设计方向、电路的模拟工具(CAD方向)、电路构成的系统(SOC或系统 方向)、电路的测试封装(测试方向)等。从专业的发展来看,微电子专业从最初的传统 方向逐渐细化拓展,到更多更细的一些研究领域:新材料新器件方向(主要有宽禁带材料 器件如SiC、GaAs、SOI器件,还有基于GeSi、应变Si技术下的新器件)以及甚大规模集成 电路(ULSI)、纳米器件、高速器件和射频电路方向等,这些是在摩尔定律驱动下必然产 生的。一个研究领域发展到一定阶段,又必然会寻求与其它方向相结合,如光电集成电路 方向(光领域与微电子的结合),生物集成电路方向(生物医学领域与微电子的结合), MEMS方向(更多领域的结合);基于一些实际需求,产生出来以应用导向的方向,如电源 管理、汽车电子。这些划分又都不是绝对的。 各院校微电子专业介绍 北京大学微电子所北京大学微电子学系,又称北京大学微电子学研究院(所),有着源远 流长的学术渊源,其发展历史可以追溯到1956年由著名物理学家黄昆院士领导在北大物理 系创建的我国第一个半导体专门化机构,之后又在我国著名的微电子专家王阳元院士的领 导下,北京大学微电子学系为我国微电子产业培养了一大批优秀人才,已经成为我国培养 高水平微电子人才的一个重要基地,是国家和学校大力支持和发展的重点学科。 【硬件环境】北大微电子学系有着国内一流的科研硬件设施,有微米/纳米加工技术国家级 重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北 京市软硬件协同设计高科技实验室三大重点实验室,再加上MPW(多项目晶圆)中心这个平 台。重视工艺是北大微电子的传统,许多老师都是物理出身,对于器件工艺这块十分看重 ,再加上最先进的微米/纳米加工条件,因此在这一点一直能保持领先地位。在未来两年里 ,美丽的未名湖东面将矗立起一座五层高的微电子大楼,一两年后的研究生将能享受到更 为舒适的环境。 【师资科研】北大微电子所下面分有 SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性 、宽禁带、纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一, 是业界久负盛名的专家。王院士目前出任中芯国际的董事长。SOI组的黄如教授是北京市优 秀教师,目前为IEEE EDS(Electron Device Society) 和ADCOM (AdministrativeCommit tee)的成员,科研方向主要是SOI方向,同时也指导学生进行射频方面的研究。SOI研究组 的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术,以及现在主要研究的射频电 路技术。再加上对RF电路功底深厚的廖怀林教授,有着国内科研界最先进的加工水平(流 片基本上都是采用0.13微米工艺),组内研究生博士生已有多篇文章发表在国际高水平刊 物上。SOC研究组由于敦山教授领导,该组拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北 京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两个中心作为平台,于老师是研究微处理器出身,对 系统方面有着很深刻的理解。新器件组在刘晓彦教授、康晋锋教授两夫妇的领导下,主要 进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面的研究工作。在新型半导体器 件结构、材料、工艺研究方面,成功研制了多种新结构半导体器件,在超精细栅、新型金 属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性方面,高速互联方面都取得了一系列创新成果。 另外,对于器件的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究 都堪称一流。MPW是近两年新成立的一个研究组,是依托北京大学微电子学研究院的技术力 量建立的一个服务于各高校科研和一些公司的平台,目前由盛世敏教授和张刚刚教授指导 学生开展工作。盛教授是当年和王院士共同工作的同事,也是北大微电子所的奠基人之一 。MPW组下的研究生,做数电和模电的都有,也有做ADC、提取参数和建立模型库的。MEMS 组是目前北大微电子所里规模最大的一个组,有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物ME MS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加工工艺在国内高校领先,组内的李志宏教授、 张大成教授等多个老师对工艺理解都很深刻,有着

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