GB/T 13979-1992氦质谱检漏仪.pdf

UI叹621-64(001.4) N 5门 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 Gs/T 13979一92 氦 质 谱 检 漏 仪 Heliummassspectrometerleakdetector 1992一12一17发布 1993一07一01实施 国 家 技 术 监 督 局 发 布 中华人民共和国国家标准 GB/T 13979一92 氦质谱检漏仪 Heliummassspectrometerleakdetector 主题内容和适用范围 本标准规定了氦质谱检漏仪的技术要求、试验方法、检验规则和包装贮运要求。 本标准适用于以氦-4做为示漏气体，以质谱分析法作为检测手段的检漏仪(以下简称仪器)。 引用标准 GB191包装储运的图示标志 GB2829 周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查) GB3163 真空技术名词、术语 GB5048 防潮包装 GB6388 运输包装收发货标志 GB6587.7 电子测量仪器 基本安全试验 GB11606分析仪器环境试验方法 3 技术要求 I1 仪器的技术性能应符合本标准的要求并按经规定程序批准的设计图样及技术文件制造。 3.2 仪器在下列条件下应能正常工作 a. 环境温度:5-35C; b. 相对湿度:不大于8000; c. 供电电源:380士38V;220士22V;50士0.5Hz; d. 大气压力:100士5kPa; e. 仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。 3.3 外观质量 a . 仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。 卜 仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。 3.4 安全要求 3.4.1 绝缘电阻 在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5MII, 3.4.2 绝缘强度 仪器的电源线和机壳之间应能承受 1000V,50H:文流电压，历时1min而无击穿及飞弧现象。 3.4.3 仪器的泄漏电流不大于3.5mA, 3.5 仪器的错、缺相保护功能 使月三相电源的仪器应当有错、缺相保护措施。 国家技术监份周1992一12一17批准 1993一07一01实施 GB/T 13979一92 3.6 仪器漏率显示系统误差 仪器离子流放大器及显示系统的误差应不超过士5%, I7 仪器漏率音响报警功能 仪器应当设有被检工件漏率音响报警装置。 I8 仪器人口处压力测量和控制电路 带有粗抽泵的检漏仪，在检漏口应当有压力指示仪表，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽 自动(或手动)切换到检漏的功能。 I9 仪器质谱室灯丝保护功能 仪器中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表与质谱室灯丝保护电路，其动作范围 应符合制造厂的规定。 3.10 使用油扩散泵的仪器，其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间。 a. 加液氮的仪器应不大于 。.5he b. 不加液氮的仪器应不大于2h, I们 仪器的最小可检漏率 用常规检漏方式的仪器在全抽速，仪器的最小可检漏率应不大于2.10-P.,m·，一’用逆扩散检 漏方式的仪器，仪器的最小可检漏率应不大于2.10-0Pa·m·5一’。 3.12 电源电压变化对仪器最小可检漏率的影响 当电源电压由额定值变化士22V，仪器的最小可检漏率仍应达到3.11条要求。 3.13 仪器的时间常数 仪器的清除时间或响应时间应不大于3s. 3.14 仪器的自身漏隙 仪器的高真空系统，不应有对自身喷氦就可以检出漏隙存在。 3.15 仪器的运输、运输贮存条件 仪器贮运环境条件应符合GB土1606