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河南城建学院仪器设备技术指标和功能要求
表4
序号 设备名称 技术指标和功能要求 单位 数量 备注
1 拉曼光谱仪 本仪器必须具备下列功能扩展能力： 台 1
与扫描电镜（电子探针，能谱，阴极荧光）联用 。
与原子力显微镜/近场光学显微镜联用，并无需对拉曼光谱仪做任何改造。
能在用户现场升级添加紫外（UV）激发波长。
可升级到采用窄带滤光片技术的拉曼光谱二维直接成像。
1.532nm 激发波长：
1.1 光谱仪设计：使用无像散，高通光效率透射式光谱仪。
1.2★光谱范围：100-4000cm-1，可快速连续扫描全波段光谱，无接谱，应使用高分辨光栅
1.3★要求配有激光扩束器，到达样品表面激光光斑尺寸需连续可调，要求能连续改变到样品上的激光功率密度。避免烧损样品。（将作为验收标准）
1.4★光谱分辨率： 1cm-1
检验标准：使用标准氖灯信号源，测试585nm 原子发光谱线，其半高全宽（FWHM）小于1 波数。（将作为验收标准）
1.5★光谱重复性：± 0.1 cm-1；
检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用50×物镜，扫描范围 100～4000cm-1，重复不少于40 次。观测硅拉曼峰(520cm-1)，520 峰中心位
置重复性 ≤ ± 0.1 cm-1。（将作为验收标准）
1.6★仪器灵敏度：单晶硅第三阶拉曼信号信噪比 20: 1
检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，到样品上实际测量功率= 10mW，狭缝宽度(或针孔) ≤ 50 m，使用1800 线光栅，曝光时间60 秒，累加
5 次，binning 等于 1，显微镜头为X100 倍。 （将作为验收标准）
1.7 空间分辨率： 横向 = 1 m； 纵向：= 2 m；
1.8 使用两级瑞利(edge)滤光片，低波数指标 100 波数。
1.9 光栅：1800 刻线/毫米的光栅，可扩张两块光栅固定在同一转台上自动转换。
1.10 光栅控制：驱动控制应采用光栅尺反馈系统，克服机械间隙，确保仪器精度。
1.11 系统信号光路通光效率大于30%。
1.12 激光入射光路通光效率大于40%。
1.13 在全扫描范围内，无等离子线
1.14★共焦显微：须采用新型共焦显微技术（数字化控制CCD 区域），不得采用老式针孔共焦，以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整。
1.15 快速宽光谱范围连续扫描光谱，无接谱，无需使用低分辨率光栅，保证高光谱分辨率和数据的真实性。
1.16 独立优化的聚焦透镜组，保证
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