透射电镜的日常维护.pptVIP

（一）、高压箱充气 JEM-2100没有高压箱绝缘气体压力的检测回路，所以要每月检查一次压力值，以便及时补充。 高压箱中的绝缘气体压力下限为0.005Mpa，一般充气到0.01Mpa, 但不要超过0.015Mpa. 充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中的不纯气体放出，并清洁充气口 将气管插入充气口 适当调节输出压力，使充气速度不要太快 待压力充到后，按下压片将气管拔出 ，等半小时以后再加高压 （二）、电子枪充气 当电子枪中的绝缘气体压力低于2.8kg/cm2后，由于高压保护， HT READY灯将不亮，高压无法加，同时报警。此时要将绝缘气的压力加到3kg/cm2以上直到HT READY灯亮为止（但当压力达到3.5kg/cm2时还不亮，请与工程师联系），准备工作同加高压箱方法。 SF6气体的补充 1）调整气瓶处的减压阀出口压力，使出口压力与下图中压力表的气体压力值相同。 2）清洁充气口。 3）把充气嘴斜顶着充气口（见下图），这样充气嘴出气把充气口的管道里空气冲走以保证气体纯度。然后把充气嘴插入。 4）慢慢加大减压阀出口压力，使压力表的压力值升到指定的值（0.32MPa） 透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求 换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护 空压机的定期维护 机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUT 八、BAKE OUT 建议1~3个月烘烤一次 HT OFF LENS ON 不插样品 撤出光路中的所有光阑 开始烘烤后不要再动面板上的任何旋钮 1、将Column和Stage都打勾 2、将Cooling Time设为4:00 Hours 3、设定BAKE结束时间（finish time）,蓝色为开始日期，红圈为结束日期。 4、要保证Total Time大于52小时 例如：周五5:00PM开始Bake，下周一4:00AM结束，加上4小时冷却时间， Total Time=63Hours。即周一8:00AM可以开始工作。 按下Start后马上将LENS进水阀关死 烘烤后 要等完全结束后才能将LENS红色水阀打开。 关注离子泵是否可以正常自动启动 日常维护总结 1). 每天检查事项 离子泵真空度 空压机的启动频率以及运行噪音 主机机械泵的运行噪音 底片干燥器运行噪音 循环水环境的温度 样品杆两个O-RING，以及样品头部清洁度 高压暗电流 2). 每月检查事项 循环水的温度、压力、水量以及水和散热器清洁度 主机机械泵油量(太多或太少均不可) 底版干燥器机械泵油量(太多或太少均不可) 空压机放水（两处） 高压箱和电子枪SF6气体的压力 灯丝像 3). 定期进行BAKE OUT * 空气中存在水份，空压机在对空气进行压缩的同时也将其中的水份压缩在里面，并随压缩空气一同进入气路，而压缩空气主要是用来推动气动阀门的，如不及时排除，时间长了就会对相应的部件造成锈蚀，使阀门无法正常的动作从而影响整台设备的运作。 透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求 换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护 空压机的定期维护 机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUT 一、电镜室的环境要求(包括水箱室） 温度——20±5摄氏度（变动小于1摄氏度） 湿度——小于60% 保持室内清洁 透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求 换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护 空压机的定期维护 机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUT 二、换样品须知样品杆的插拔.mpg 每天注意样品杆两个O形圈的清洁度，以及样品杆头部的清洁度。 拧固定螺丝时，请选择合适大小螺丝刀且不要拧的太紧，以免损坏螺丝。 双倾杆正确使用： 1). 把换样台放在如下图所示的位置上： 此换样台起到保护双顷样品头的作用 2). 把样品杆小心地放在换样台上。 由于小螺丝只能支撑一定的力，故如果用力压，此螺丝肯定会断且样品头脱落。 3).更换样品拧螺丝时,用螺丝杆的自重压住螺丝，请不要用力往下压，然后小心拧螺丝。拧螺丝的姿势可参见下图。 4). 拧螺丝时请不要拧的过紧，以免因为拧过紧而不由自主地用力以致使支撑Y轴的螺丝断。 5). 样品杆进入测角台后，在菜单中选择样品杆的正确类型。 6). 从测角台中拔出样品杆时，一定要把所有轴归零后再拔样品杆。 注意：若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工程师联系！ 透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求 换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护 空压机的定期维护 机械泵的定期维护