半导体设备深度报告-详解光刻机.pdf

行业研究 机械设备 证券研究 报告 2018 年 03 月 12 日 行 机械设备 业 深 度 半导体设备深度报告（三）：详解光刻机— 行业评级 推荐 研 究 报 —半导体制造业皇冠上的明珠 评级变动 维持 告 主要观点 华创证券研究所 1.光刻机是半导体制造业中最核心的设备 证券分析师：李佳 光刻环节实现芯片设计图从掩模到硅片上的转移，是芯片生产流程中的最关 执业编号：S0360514110001