J BT 9125-1999 立式涡轮分子泵机械标准.pdfVIP

ICS 23. 160 J 78 JB/T 9125 1999 式 涡 轮 分 子 泵 Vertical turbo molecular pump 1999-07-12 发布 2000-01-01 实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/T 9125 1999 前 言 本标准是对ZB J78 015.1 89 《 式涡轮分子泵 型式与基本参数》和ZB J78 015.2 89 《立式 涡轮分子泵 技术条件》进行的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有改变。 本标准自实施之日起代替ZB J78 015.1 89 和ZB J78 015.2 89。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所、南光机器厂。 本标准主要起草人：李玉英、李春影、冯慧生。 本标准于1989 年首次发布。 I 中华人 民共和国机械行业标准 JB/T 9125 1999 式 涡 轮 分 子 泵 代替 ZB J78 015.1－89 ZB J78 015.2 –89 Vertical turbo molecular pump 1 范围 本标准规定了 式涡轮分子泵的型式，基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、 运输和贮存等。 本标准适用于具有前级泵、变频电源的 式涡轮分子泵 （以下简称泵）。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本 均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB 191 1990 包装储运图示标志 GB/T 4982 1985 夹紧型真空快卸法兰 GB/T 6070 1995 真空法兰 GB/T 6071 1985 超高真空法兰 GB/T 6587.1 1986 电子测量仪器 环境试验总纲 GB/T 6587.2 1986 电子测量仪器 温度试验 GB/T 6587.3 1986 电子测量仪器 湿度试验 GB/T 6587.4 1986 电子测量仪器 振动试验 GB/T 6587.5 1986 电子测量仪器 冲击试验 GB/T 6587.6 1986 电子测量仪器 运输试验 GB/T 7774 1987 涡轮分子泵 性能测试方法 GB/T 13306 1991 标牌 JB/T 5278 1991 铜丝密封可烘烤真空法兰 JB/T 8106 1999 容积真空泵噪声测量方法 JB/T 8107 1999 容积真空泵振动测量方法 3 定义 本标准采用下列定义。 3. 1 抽气速率 泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与 测试罩规定位置测得的平衡压力之商。 3. 2 极限压力 国家机械工业局 1999-07-12 批准 2000-01-01 实施