传感器 第章 谐振式传感器.pptVIP

传感器结构原理与设计 机械工程学院仪器系 李云雷 Tel:2786982 办公室：新实验楼427 第十章 谐振式传感器 定义：谐振式传感器是直接将被测量变化转换为物体谐振频率变化的装置，故也称为频率式传感器。 特点： 优点：高精度(0.01%)、高分辨率、高抗干扰能力、适于长距离传输、能直接与数字设备相连接 、高稳定性和高可靠性 。 缺点：要求材料质量较高，加工工艺复杂，所以生产周期长，成本较高 ；输出频率与被测量往往是非线性关系，需进行线性化处理 。 种类：电式、机械式、原子式。 第一节 原理与类型 机械式谐振传感器将被测量转换为物体的机械谐振频率，其中振动部分被称为振子。 一、基本原理 振子谐振频率f： 振子谐振频率f与其刚度k和等效振动质量me有关，设其初始谐振频率为f0。 如果振子受力或其中的介质质量等发生变化，则导致振子的等效刚度或等效振动质量发生变化，从而使其谐振频率发生变化。 ?谐振式传感器的组成 振子； 激振元件：对振子施加激振力； 拾振元件：测量振子的振动频率。 二、类型 机械振子的结构：张丝状、膜片状、筒状、梁状。 材料：铁镍恒弹合金；石英晶体（振膜或振梁，分扁平形、平凸形、双凸形）等。 谐振式传感器类型：振弦式、振膜式、振筒式、振梁式等。 第二节 特性 一、振弦式谐振传感器 振弦受张力T作用，其等效刚度发生变化，谐振频率f为