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- | 2019-11-01 实施
经任何处理，选择4个实验室进行巡回测试，所用测试设备为相同厂家制造的不同型号设备，每个样片测试5次。测试结果显示，各实验室每个样片使用同一设备测试的相对标准偏差在1.5%内的占93.3%，在不区分实验室和设备型号情况下，每个样片的测试相对标准偏差均不大于22.0%。10.4SEMIMF1535-1015[25]中关于精密度的介绍参见附录F。
ICS77.040
H21
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT26068 2018
代替 / —
GBT26068 2010
硅片和硅锭载流子复合寿命的测试
非接触微波反射光电导衰减法
Testmethodforcarrierrecombinationlifetimeinsiliconwafersand
—
siliconinots Non-contactmeasurementofhotoconductivitdeca
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