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- | 2009-10-30 颁布
- | 2010-06-01 实施
3.3.3上下探头为同轴探头，且这个共同的轴为测量轴。3.3.4在进行校正和测量时应保持A，B探头间距离D恒定。3.3.5位移分辨率应该为10nm或更优。3.3.6探头感应部位尺寸4mm×4mm或其他供需双方的商定值。
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中华人 民共和 国国家 标准
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ＧＢＴ６６２１ １９９５
硅片表面平整度测试方法
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２００９１０３０发布 ２０１００６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
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