基于CCD测量激光光束质量M.PDF

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2019-05-25 发布于天津
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基于CCD测量激光光束质量M.PDF

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第３８卷　第５期发　光　学　报Ｖｏｌ３８Ｎｏ５２０１７年５月ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥＭａｙꎬ２０１７文章编号:１０００￣７０３２(２０１７)０５￣０６４２￣０６基于ＣＣＤ测量激光光束质量Ｍ２１ꎬ２１ꎬ３∗ １１２２陈　诚 ꎬ郑加金 ꎬ韦　玮 ꎬ韩晓晓 ꎬ于广礼 ꎬ周　军 (１. 南京邮电大学光电工程学院ꎬ江苏南京　２１００２３ꎻ　２. 南京先进激光技术研究院ꎬ江苏南京　２１００３８ꎻ ３. 光学信息技术科学教育部重点实验室南开大学ꎬ天津　３０００７１) 摘要: ２设计并搭建了一套基于ＣＣＤ测量激光光束质量Ｍ的系统ꎮ 采用ＣＣＤ测量激光光束在不同位置处的光束直径ꎬ通过非线性最小二乘法拟合测量数据获得光束腰斑直径和远场发散角ꎬ再通过公式计算得到激光２２光束质量Ｍ ꎮ 利用本系统测量多组数据ꎬ并与专业Ｍ仪所测的数据进行对比ꎬ二者一致性较好ꎬ表明采用２２本实验装置测量激光光束质量Ｍ可以有效地替代Ｍ仪ꎮ ２关　键　词:激光光束质量Ｍ ꎻＣＣＤꎻ双曲线拟合中图分类号:ＴＮ２４７　　　文献标识码:Ａ　　　ＤＯＩ:１０.３７８８/ ｆｇｘ０６４２２ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＬａｓｅｒＢｅａｍＱｕａｌｉｔｙＭＢａｓｅｄｏｎＣＣＤ１ꎬ２１ꎬ３* １１２２ＣＨＥＮＣｈｅｎｇ ꎬＺＨＥＮＧＪｉａ￣ｊｉｎ ꎬＷＥＩＷｅｉ ꎬＨＡＮＸｉａｏ￣ｘｉａｏ ꎬＹＵＧｕａｎｇ￣ｌｉ ꎬＺＨＯＵＪｕｎ (１. ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＯｐｔｏ￣ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｏｓｔｓａｎｄＴｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓꎬＮａｎｊｉｎｇ２１００２３ꎬＣｈｉｎａꎻ ２. ＮａｎｊｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＮａｎｊｉｎｇ２１００３８ꎬＣｈｉｎａꎻ ３. ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＯｐｔｉｃａｌＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎꎬＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｏｄｅｒｎＯｐｔｉｃｓꎬ ＮａｎｋａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＴｉａｎｊｉｎ３０００７１ꎬＣｈｉｎａ) ∗ＣｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇＡｕｔｈｏｒꎬＥ￣ｍａｉｌ:ｚｈｅｎｇｊｊ＠ｎｊｕｐｔ.ｅｄｕ.ｃｎ