LISA线性促动器和平台.PDF

LISA线性促动器和平台 位置动态稳定 P-753  同时为平台和促动器提供导向  行程达38 微米  分辨率0.1 nm  可提供非磁性版本  直接驱动可实现极其快速的响应行为  电容式传感器带来最高线性度 应用领域  扫描显微镜  测量技术  测试程序和质量保证  光子  光纤定位 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 直接位置测量带来最大精度 运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。 适用于复杂真空应用 压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。 14.01.2019 PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态 带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快 速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。 规格 P-753.1CD P-753.2CD P-753.3CD 单位 公差 主动轴 X X X 运动和定位 集成传感器 电容式 电容式 电容式 行程，闭环 15 30 38 微米 分辨率，闭环 0.1 0.2 0.25 纳米 典型值 线性误差，闭环 0.03 0.03 0.03 % 典型值 重复精度 ±1 ±2 ±3 纳米 典型值 螺距/偏转角 ±5 ±7 ±10 微弧度 典型值 机械特性 运动方向上的刚性 45 24