无尘室设计规范.ppt

* 5.無塵室管理 無塵室設備的運轉需要多種系統設施來支援，這些系統設施於最初之設計階段即應考量其未來之擴展性及許可之容量。整體之系統設施，包括從初期的基礎設備與運轉設備的管線連結。 系統運作管理 Source: 繼開科技 * 5.無塵室管理 人員管理 清潔習慣之養成 現場操作行為之嚴謹 良好之工作態度 警覺心之保持與即時報告 無塵室狀態之確實記錄 無人管理 * 资料整理： 2009.09.11 * 無塵室设计規範 资料整理：金田净化 顯示器實務 * 無塵室之定義與應用： 1. 無塵室之簡介 利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room) 無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業、精緻農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。 基因實驗室 食品加工業 醫療衛生 生物科技 精緻農業 國家太空中心 友達TFT-LCD廠 * 無塵室之規格 1. 無塵室之簡介 潔淨室依等級之不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例： * 無塵室之規格 1. 無塵室之簡介 NDL/class 10 CIS/class 100 繼開科技/class 10000 * 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1~100)、水平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000)，其詳細區分如下表： * 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 Air flow system Item Down flow Cross flow Mixed flow Conventional flow Tunnel clean Air flow system ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? Construction cost High Middle Middle Low Middle Running cost High Middle Middle Low Low Flexibility Easy Difficult Middle Easy Difficult 　 垂直層流方式 水平層流方式 非層流方式 遂道方式 清淨度 1~100 100 1,000~100,000 1~100 生產時清淨度 作業者的影響少 上流的發塵對下 流有影響 作業者的影響大 作業者的影響最少 設備費 高 中 低 中 運轉費 高 中 低 中 生產配置變更 容易 困難 容易 困難 增設 困難 困難 比較容易 比較容易 * 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 Conventional (hard wall) Soft wall Module type * 無塵室在IC與TFT-LCD產業之必要性 1. 無塵室之簡介 粉塵掉落至IC之線路中會造成IC元件之短路或斷路 粉塵掉落很容易使單片之LCD面板良率大幅降低 * 無塵室設計考量 2. 無塵室設計考量 粉塵之阻止 溫度與溼度控制 人員動線 儀器設備位置與移機動線 噪音防止 靜電與電磁防止 震動問題 安全設施 * 無塵室空間規畫－－府視圖 2. 無塵室設計考量 1. 人員動線 2. 儀器設備位置與移機動線 微修區 黃光工程區 薄膜工程區 乾蝕刻製程區 機台移入/出平區 參觀走道／緊急出口走道 機具設備拆解／組合／清拭區 廠務區 檢測機台 濕蝕刻區 基板清洗區 基板儲存區 基板儲存區 中央廢氣廢液處理區 零組件／耗材處理及儲存區 基板儲存區 * 2. 無塵室設計考量 無塵室空間規畫－－側視圖 廠務區 中央廢氣廢液處理區 空調管路 水氣電管路 抽器管路 末端管路 製程機台 照明與送風口 維修/緊急出口走道 * 2. 無塵室設計考量 3. 粉塵之阻止 (1) 粉塵來源之防止 Filter Module 昇暘工程