无油螺杆真空泵变螺距螺杆转子型线的分析.pdfVIP

东北大学硕士论文 摘要 无油螺杆真空泵变螺距转子型线的研究 摘 要 无油螺杆泵具有抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、 无油污染等特点，已被广泛应用于半导体、医药、食品、化工等众多工业领域。螺杆转 子是螺杆真空泵中最关键的抽气部件，直接决定着泵的工作性能和使用寿命，其加工制 造成本约占整个螺杆泵总成本近一半。螺杆转子的型线设计则是整个螺杆泵设计中的最 关键技术。其中单头变螺距的螺杆转子，因其具有内部预压缩的排气方式，与等螺距螺 杆转子相比，具有突出的节能降噪优点，因此近年来备受无油螺杆真空泵的设计者和使 用者的青睐 本课题针对广泛应用于无油螺杆真空泵中的单头变螺距螺杆转子型线展开了详细的 研究分析。首先，对无油螺杆真空泵螺杆转子端面型线进行了分类：梯形齿和矩形齿两 种，并且给出了每种转子具体的端面型线方程，并且论述了此种型线的优势。其次，对 无油螺杆真空泵变螺距轴面型线(2次方型线、3次方型线、n次方型线以及导程正比于 轴向坐标的型线)进行的研究。一、变螺距轴向方程表示形式。分别以变螺距系数和初、 终导程表示；二、抽气容积的表示形式。抽气容积以转角表示和以坐标表示；三、几何 抽速。对泵的理论抽速进行的分析；四、泵内气体输运(压缩)过程的热力学分析。分 别从气体体积计算、热力过程方程、气体压缩计算、气体温变、内能变化、焓、熵变等 分析。 以往的变螺距螺杆转子的结构特点，随着螺杆转子的导程(节距)由吸气端向排气 端逐渐变小的过程中，转子齿型中的齿顶宽(以及对应的齿根宽)也随之等比例地逐渐 变窄，这一结构特征会直接导致如下不合理状况：在转子吸气端，齿型齿顶宽不必要地 增大，从而降低了泵的容积利用系数；而在转子排气端，级问气体压力差很大，齿型齿 项宽反倒变小，致使气体返流量增大。这会直接造成螺杆真空泵的极限真空度降低和抽 气速率下降的后果。 针对以上存在的问题，本文介绍两种解决方案．1、介绍一种能够保持齿型齿顶宽恒定(当 然，对应地，齿根宽也会保持恒定)的单头变螺距螺杆转子型线。一个单头变螺距螺杆 转子。，当螺旋导程由排气端向吸气端逐渐增大时，而齿顶宽却始终保持不变；仅是斜齿 面所占据的轴向长度不断增加。因此能够增大吸气端的吸气容积，降低排气端的气体返 II 万方数据 东北大学硕士论文 摘要 流泄漏，从而提高泵的抽速和极限真空度；2、介绍了一种变截面变螺距螺杆转子型线， 随着导程从吸气端到排气端逐渐变化，每一时刻的轴截面也随之变化。这样，不仅能提 高泵的泄漏阻挡能力，而且大大提高了泵的压缩比。 关键词：无油真空泵；螺杆转子；型线；变螺距；等齿项宽 III 万方数据 东北大学硕士论文 Abstract onthe Study Profileofthe leadScrew gradational Rotorin ScrewVacuum Dry Pump Abstract in food、 Theoil-freescrew has beenusedthe pumpwidely chemicaland other areas，becauseofits aswide many industry advantage