开创性5kVESDMEMS开关技术.PDFVIP

| LinkedIn | 开创性的5 kV ESD MEMS开关技术 作者：Eric Carty和Padraig McDaid ADI公司 简介 解决大问题需要开创性的技术。机电继电器早在电报问世之 ADI 设计了一个配套驱动器集成电路 (IC) ，以产生驱动开关所需 初就已存在，但没有其他替代的开关技术可满足所有市场需 的高直流电压，保证快速可靠的驱动和长使用寿命，并使器件易 求——特别是对于测试和测量、通信、防务、医疗保健和消费类 于使用。图2显示了采用超小型SMD QFN封装的MEMS芯片和驱动 市场中智能性和互联性更强的应用需求。作为不断增长的市场 器IC。被封装在一起的驱动器功耗非常低——典型值为10 mW， 需求的一个例子，测试和测量终端用户要求多标准测试解决方 比RF继电器的典型驱动器要求低10倍。 案的尺寸尽可能最小，在0 Hz/dc至数百GHz的频率范围内需要实 现最高并行测试。机电继电器的带宽窄、动作寿命有限、通道数 有限以及封装尺寸较大，因此对系统设计人员的限制日益增大。 微机电系统 (MEMS) 开关具有创新性，可以替代继电器并将行业 推向更高水平。凭借内部最先进的MEMS开关制造设备，ADI公司 目前可以批量生产高性能的快速小型MEMS开关，此类开关的特 点是机械耐用、功耗低且具有静电放电 (ESD) 保护功能。 图2. ADGM1004增强型ESD保护MEMS开关。 MEMS开关技术 集成ESD保护 ADI MEMS 开关技术的关键是静电驱动的微机械加工黄金悬臂 借助ADGM1304 MEMS 开关产品，ADI开发了ADGM1004 MEMS 开关， 梁开关元件概念。可以将MEMS开关视作微米尺度的机械继电器， 通过集成固态ESD保护技术来增强RF端口ESD性能。ADGM1004开 其金属对金属触点通过高压直流静电驱动。图1显示了单个 关的RF端口人体模型 (HBM) ESD额定值已增加到5 kV。这个级别 MEMS开关悬臂的特写图。其中可看到并联的的五个触点和具 的ESD保护可谓MEMS开关行业首创。 有下面有空隙的铰链结构。这一开关设计用于ADGM1304单刀四 掷 (SP4T) MEMS 开关和具有增强型ESD保护性能的ADGM1004 集成式固态ESD保护是专有的ADI技术，可实现非常高的ESD保护 SP4T开关。 同时对MEMS开关RF性能影响最小。图3显示了采用SMD QFN封装 的ESD保护元件。其中，芯片安放在MEMS芯片上，通过焊线连接 至封装的RF引脚。这些都是针对RF和ESD性能进行了优化。 图1. 特写图显示了一个MEMS悬臂开关梁。 图3. ADGM1004驱动器IC （左）和MEMS开关芯片 （右），带RF端口ESD保护 芯片安放在MEMS管芯之上并线焊至金属引线框架。 请访问：/cn 2 开创性的5 kV ESD MEMS开关技术 为了实现ADGM1004产品，ADI将三种专有光刻技术与组装和MEMS 封盖技术相结合，以实现这一性能突破。 RF和0 Hz/DC性能 MEMS开关的优势是它在一个非常小的表贴封装中实现了0 Hz/dc 精密性和宽带RF性能。图4显示了ADGM1004单刀四掷 (SP4T)