JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范.doc

JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范 一、开机. 1. 打开SEM总电源电闸（稳压器、UPS电源）﹐打开冷却水总电闸 2. 如图1箭头所示打开冷却水电 冷却水电源按钮温度显示 图1 冷却水电源按钮 温度显示 3. 等大约二十分钟后﹐观察并准认冷却水温度为20℃±2℃ 4. 把钥鍉插入主电源开关, 并转到START, 然后松手, 这时钥匙自行转到ON,电源供给真空pump 系统, 启动机器,如图2所显示. 图2 5. 等大约10 秒后, 打开个人计算机并运行Windows 6. 点击计算机桌面上的[JEOL-6390LV] Main Menu.如图3所示 图3 二、SEM 样品的放入和更换 注意！样品放入和更换时Stage高度大于25 1. 如图4所示执行以下两步操作 1步﹕点击工具栏上的Sample后界面会弹出Specimen Exchange对话框 2步﹕点击对话框中的Vent进行放真空。等界面中的Redy变成Vent时表示放真空OK 图4 2. 更换样品（注意带手套小心碰伤探头） 2.1 确认放好真空后如图5所示慢慢打开样品室门 确认放真空后方可执行该动作。并带好手套 确认放真空后方可执行该动作。并带好手套 图5 2.2将底座反过来看﹐底座是一边是方的﹐一边是圆的。在放样品时应由方的这头由里轻轻推。如图6所示 图6 图7 2.3 关样品室门及抽真空分别如图7﹐图8 微扶样品室门﹐并按 微扶样品室门﹐并按EVAC进行抽真空﹗ 图8 三、操纵杆功能介绍（如图9） A. Z-axis knob:调整目镜至样品的距离, 即调整WD（注意﹕Z=W+样品高度） B. T-axis knob:用于设定观察物之倾斜影像, 一定的WD对应于一定的旋转角度 C. X-axis knob: 在水平面X方向移动样品, 选择观察区域. D. Y-axis knob: 在水平面Y方向移动样品, 选择观察区域. E. R-axis knob: 在水平面旋转样品. T-axis knobR-axis knobY-axis knobX-axis knobZ-axis knob更换物镜孔片 T-axis knob R-axis knob Y-axis knob X-axis knob Z-axis knob 更换物镜孔片 图9 四、人工操作按钮图标及功能介绍（如图10） 1. 人工操作按钮的功能与GUI OF SEM 窗口中的相对应的条目是相同的 2. Fine shift: 对观察的区域的微细的移动(高倍率下使用; 5000X) 3. Select scanning mode : A: VIEW switch: 观察整个样品,放大倍率相应于所使用的WD是最小的. B: SCAN1: 用于调整图像质量. C: SCAN2: 用于选择观察的区域, 进行聚焦及明亮对比设定. D: SCAN3: 用于选择观区域之后对样品的精细结构的确证, 是一种实时扫描. F: SCAN4: 用于检查图像的情况, 对图像进行精细扫描, 只扫描一遍. G: FREEZE: 用于冻结图像, 对图像进行存贮等操作. 4. Foucsing contrast/brightness adjustment. A: Focusing: 旋转FOCUS 或按下AUTO FOCUS 作手动或自动对焦动作. B: Contrast/brightness: 旋转CONT 及BRT 或按下AUTO STIG 作手动或自动作明亮对比设定. 5. Changing magnification A: MAGNIFICATION: 用于调整放大或缩小的倍率. B: INST MAG: 当改按钮处于ON 状态时, 只能使用目录栏的[Preset Mag]进行倍率调整. 6. Automatic button: A: ACB: 用于自动调整图像的亮度/对比度. B: AUTO STIG: 用于自动调整图像的象散. C: AUTO FOCUS: 用于自动聚焦. 图10 举例说明﹕如果当我们在调整过程中发现图片的亮度和对比度无法调整到最佳状态（偏暗）﹐但通过手动调整又不太好找到最佳亮度﹐这时我们可以点击操作面板上ACB（此时ACB会点亮变绿）。这时我们就通过了自动调整找到了个比较好的状态﹐如不满意过再手动微调。 五、 图像观察（如图11所示） 1. 在GUI OF SEM 窗口, 点击Acc V 30kV, 弹出对话框, 从列表中选择所需的数值并双击, 则[Acc, V]变化之后对话框关闭