原创力文档- 1、本文档共6页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
17 1 Vol. 17 No. 1
第 卷 第 期 电 机 与 控 制 学 报
20 13 1 E LE CT RI C MA C HI NE S A ND C ONT R OL Jan． 20 13
年 月
直线电机的线性自抗扰控制
1 2 2 1
， ， ，
刘川 朱非甲 马伟 陈兴林
(1． ， ，150001 ;
哈尔滨工业大学航天学院 黑龙江哈尔滨
2 ． ， ，150001)
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 黑龙江哈尔滨
: ， ，
摘 要 光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台 它要求在系统高速运动的同时 采用长行程
， 。
直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式 实现系统纳米级的精确定位及跟踪 为减小
， 。
微动电机的运动范围和加速度 必须提高直线电机的跟踪精度 针对该系统的直线电机模型设计
， ，
了一种线性自抗扰控制方法 该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化 补偿
， ， 。
系统中的各种扰动 再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿 减小系统的动态跟踪误差 在此复合
， ， ，
控制方式下 控制器实现了自抗扰控制 前馈控制器很好 的补偿 了误差 从而提高了系统的抗 干扰
。 ， ， 。
和跟踪性能 实验表明 该方法与传统的控制方
文档评论（0）