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I-V圖~2 scan var=current_1 再由電流看電壓 因為此時電壓變化小,如果電流變化太快會收斂困難 value_to=300 print_step=10 每10格儲存一次 init_step=0.01 min_step=1e-4 這部分和掃描電壓原理相同 max_step=10 不能超過print_step 精品文档 參數表 Parameter d (?m) Ndop(1/m3) y (?m) n@400 nm ? (W/m/K) GaN (contact) 0.03 p-2?1025 4.29 2.54 130 Al0.07Ga0.93N (cladding) 0.5 p-3?1024 4.26 2.48 20 GaN (waveguide) 0.1 p-7?1023 3.76 2.54 130 Al0.2Ga0.8N (stopper) 0.02 p-7?1023 3.66 2.23 80 In0.02Ga0.98N (barrier) 0.01 i 3.64 2.61 20 In0.15Ga0.85N (well) 0.005 i 3.63 3 20 In0.02Ga0.98N (barrier) 0.01 i 3.625 2.61 20 In0.15Ga0.85N (well) 0.005 i 3.615 3 20 In0.02Ga0.98N (barrier) 0.01 i 3.61 2.61 20 GaN (waveguide) 0.1 n-7?1023 3.6 2.54 130 Al0.07Ga0.93N (cladding) 0.5 n-3?1024 3.5 2.48 20 GaN (substrate) 3 n-3?1024 3 2.54 130 精品文档 參數-對應方程式[3] 方程式 =參數 泊松(Poisson)方程式=V, n, p 連續方程式 = V, n, p, S, W, g 光子速率方程式 = n, p, S, W, g 複數波動方程式 = n, p, W, lambda, g 光增益模型 = n, p, lambda, g V表電位、 n與p表電子與電洞濃度、 S表光子數目、W表光場強度、 lambda表波長、 g表增益 精品文档 參數-泊松方程式[4] ?2V = ?ρ /ε ,ρ 為自由電荷的體電荷密度,ε 為介質的介電常數。若將此方程式改用在半導體材料時,此方程式就必須改寫成下式來描述每個磊晶層的電位分佈: 精品文档 參數-泊松方程式 (a)?V 為電場。 (b)εdc 為相對介電常數。 (c)n、p 為電子與電洞濃度。 (d)ND(NA)為淺層donor(acceptor)摻雜的密度,fD(fA)為介面中donor(acceptor)淺層能階的佔有率。(此項會造成介面結合的電子濃度產生影響,NAfA 前面的負號為接收電子濃度產生) (e)δj 為delta function 當作acceptor 時其值為0 當作donor 時其值為1,Ntj 為介面中第j 個深層能階的密度,ftj 為第j 個深層能階的佔有率。(此項和前兩項比較下其意義為相似) 精品文档 參數-電荷連續方程式 ?J + ?ρ/ ? t = 0 ;此為電荷連續方程式,又因為各磊晶層的電荷守恆,所以我們可以將此連續方程改寫成下式: 精品文档 參數-電荷連續方程式 (a)電子的電流密度Jn = n×μn×?Efn(其中μn 為電子的mobility,Efn 為電子的Fermi-level),而電洞的電流密度Jp = n×μp×?Efp 。 (b)Rntj 為通過邊界上第j 個能階時,每單位體積的電子結合律,而Rptj 為通過邊界上第j 個能階時,每單位體積的電洞結合律。(SRH) (c)Rsp 為自發輻射率,Rst 為受激放射率。 (d)Rau=(Cnn+Cpp)(np-ni2);Cn 和Cp 均為常數取決於材料本身,ni 指純質的載子密度。(Auger recombination rate) 精品文档 參數-光子速率方程式 精品文档 參數-光子速率方程式 (a) W 為光子的波函數|W|2 為每單位體積找到光子的機率。 (b) k0 為波向量,ε為介電常數,β為real eigenvalue 實數本徵值。 (c) ng 為材料的折射率,gm 為增益模式(model gain),αint 為初始的損失(loss),αem 為發射光子產生的損失,S 為光子數。 (d) Cm 為小部份自發輻射的常數。 精品文档 參數-光增益模型 (a)τ為intra-band 的散射時間 (b
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