多功能半导体快速量测系统-中山大学物理系.PDFVIP

多功能半導體快速量測系統 本量測系統適用於半導體電子材料、奈米元件之電性量測 (I-V 、C-V) ，並 且附加溫控系統做溫度調變， 並搭載了快速量測裝置模組 ，可設定以10ns解析度 之任意波形掃描同步執行快速交流量測，可運用高速波形分析更暫態的電子特性， 並分析電子元件之可靠度和電性機制。及提供最多5端點元件之量測。並可由 Agilent B1500A半導體參數分析儀及Agilent B1530A(WGFMU)量測在不同溫度 下作元件特性的量測和可靠度研究。整個系統利用Agilent Desktop EasyExpert 量 測軟體進行自動控制，提供方便且迅速的量測功能。 服務項目 1.精準電性量測：電流-電壓特性 (Current-Voltage) 電容 -電壓特性 (Capacitance-Voltage) 電容 -頻率特性(Capacitance-Frequency) 電感 -頻率特性(Inductance-Frequency) 2.可靠度分析： DC stress AC stress 3.變溫量測：25℃ ~ 200℃ 收費標準 儀器使用每小時收費 1500 元整 試片準備 Sample 大小須12吋以內 聯絡方式 指導教授：張鼎張 教授中山大學物理系 TEL ：(07)5252000轉 3708 儀器負責人：廖日謙、林建佑同學 TEL ：(07)5252000轉 3708 儀器地點：中山大學物理館七樓 D7009 室 儀器設備說明 量測平台型號 ： Cascade M150 probe station 規格： 5 具低漏電探針座(Cascade DCM210) 6吋可變溫氣浮 式平台 功能及用途：放置並固定待測元件供探針座 下針 量測儀器型號 ： Agilent B1500A 半導體參數分析儀 規格： HRSMU(High Resolution SMU) ×5 Resolution ：1fA/25μV to 100mA/100V Amplitude ：40Vp-p Pulse width ：500μs to 2s (100μs res.) Pulse period ：5ms to 5s (100μs res.) Transition time ：8ns to 400ms (2ns to 8ns res.) 註： Source Monitor Unit(SMU) MFCMU(Multi-Frequency capacitance measurement unit) Frequency Range ：1kHz to 5MHz Resolution ：1mHz Amplitude ：100 V DC bias with SMU and SCUU (SMU CMU Unify Unit) Output signal level ： Range ：10mV to 250mV Resolution ：1mV WGFMU(Waveform generator/fast measurement unit) Resolution ：10ns Amplitude ：100 V DC bias with SMU and HV-SPGU(High voltage semiconductor pulse generator unit) Resolution ：10ns Amplitude ：-40V to 40V Pulse width ：10ns to period-10ns (2.5ns to 10ns res.) Pulse period ：20ns to 10s (10ns res.) Transition time ：8ns to 400ms (2ns to 8ns res.) 量測功能 