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- 2019-04-26 发布于上海
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摘
摘 要
目前国外已经开始生产0402型片阻,而国产激光调阻机尚不能 满足其调阻要求,原因之一就是其运动控制系统还有差距。本论文 就是针对这一需求而开展的其运动控制系统的设计及研究。
本文阐述了Parker.6K6多任务实时控制器按照事件驱动响应 方式,控制直线电机、交流伺服电机和四个步进电机的速度和定位 精度;通过接口模块对各电磁阀进行开关量控制,对多种传感器进 行监测。设计了高可靠性的硬件接口电路,进行了软件的开发与优 化。
结果表明,该运动控制系统很好地实现了对激光调阻机高精度 (调阻误差为4-0.1%)和超高速度(调阻速率为55只/秒)的要求。
关键词:片阻∥ 激光调阻机 多任务实时控制器 直线电机
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ABSTRACTNow
ABSTRACT
Now chip-resistance of type 0402 has been manufactured overseas. But homemade laser-resistance—trimmer cannot trim it.one reason of which is the gap between their move—control-systems That’S the aim ofthis article. About 6K6,the control to 6 motive axes and the
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