激光冲击波致动微泵的设计建模与研制-机械电子工程专业论文.docxVIP

华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 作为微流体系统的核心部件、驱动源，专家学者对微泵开展了大量的研究，实 现了众多应用。针对传统微泵结构复杂、制备困难等不足，本文提出了一种新型的 基于激光冲击波力学效应的微泵驱动方法，使用该方法设计的微泵结构简单、易于 制造、成本低，有利于微型化及与微机电系统（MEMS）集成。 通过研究激光冲击波理论，认为激光冲击波可以应用于微泵的驱动。在研究国 内外多种微泵设计后，针对激光冲击波驱动提出了设计无阀型微泵。通过 CFX 对无 阀微泵关键部件—扩张/收缩管进行了性能分析，得出了扩张/收缩管内部流体流动规 律，在此基础上设计了适用于本文的平面型无阀微泵。 计算出无阀微泵的耦合模态，得出微泵驱动最佳频率。通过研究激光冲击波， 得出激光功率密度的适用范围。通过流固耦合仿真验证了该驱动方法的可行性，研 究激光的频率、占空比、功率密度、光斑直径等参数对微泵流量的影响并进一步分 析了流量的稳定性。利用回归分析得出激光驱动微泵的最优参数，得出微泵获得最 大流量的最优解。最后利用 MEMS 技术试制了微泵样机。 关键词：微泵 激光冲击波 扩张管 MEMS 流固耦合 II II Abstract As the power source of Micro Fluid system, key componentof Micro Flui