激光光束整形的设计和研究与非网-EEFOCUS.PDF

第 28 卷第 1 期　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　红外与激光工程　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　1999 年 2 月 Vol. 28 No. 1 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Infrared and Laser Engineering 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Feb. 1999 激光光束整形的设计和研究 赵为党 　　杨李茗 　　虞淑环 　　杨国光 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 　杭州 　310027) 文摘 :提出了一种加工工艺成熟、利用率高、实现过程简单的位相透镜光束整形方法。采用几 何变换方法进行激光高斯光束平化的研究和设计 ,给出了模拟设计结果并作了简要分析。 关键词 : 　　几何变换方法 　　光束整形 　　衍射光学器件 Design and analysis of laser beam sha ping Zhao Weidang 　　Yang Liming 　　Yu Shuhuan 　　Yang Guoguang ( State Key Laboratory of Modern Optical Instrument , 　Hangzhou , 　China , 　310027) Abstract : In this paper , a new shaping method used by a high efficiency , simple processing phase lenses is presented. And a geometrical transformation method to transform Gaussian laser beam into flat one is studied. The simulated results are given and analyzed. Keywords : 　　Geometrical transformation method 　　Laser beam shaping 　　DOE 1 　引 　言 在许多光学系统中需要均匀分布的激光相干光束 。最常用的方法是利用显微物镜将高斯光束扩束准直 后 ,提取其中心相对均匀的部分。但这样光能浪费很大 ,其有用光能量可由 P = ( 1 - I / I ) P 来表示 ,其中 u b m t Pu 为有用光能量 , I m 为中心能量 , I b 为边缘能量 ,这也就是说 5 %的不均匀度只用了总能量的 5 % 。 为得到合适的转换也可采用反高斯分布的吸收过滤器。这种过滤器是用吸收玻璃制成的平凸透镜 ,但这 种透镜只能得到利用效率为 37 %的均匀光束。 使用折射和反射器件也可达到整形的目的 ,但是这些元件都有很难加工的非球面。 上述的这些方法 ,有的利用率不高、有的对加工要求很高 ,文中提出了一种加工工艺成熟、利用率高、实现 过程简单的位相透镜进行光束整形。采用几何变换方法进行激光高斯光束平化的研究和设计。 　 　本课题受国家高技术 863 项目资助 　　作者简介 :赵为党　男　25 岁　硕士 　主要从事二元光学及微光学器件制作技术方面 　　收稿 的研究工作。 ·30 · 红外与激光工程　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　第 28 卷第 1 期 2 　理论设计 把激光光束从高斯分布转换到均匀光强分布 ,这一激光光束的转换可以被认为是 Bryngdahl 提出的坐标 变换法的一种特殊形式。在坐标变换法中 :如果一个物函数与一个位相函数 相乘, 然后被一个焦距为 f