通过水溶性聚三钼酸盐制备纳米流体通道及系统-中国表面工程.PDF

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２５ １ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１２ ２ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｆｅｂｒｕａｒ ２０１２ ｙ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１２．０１．０１７ ｊ 通过水溶性聚三钼酸盐制备纳米流体通道及系统 薛正升，徐炳吉，徐慧勇 （中国地质大学 信息工程学院，北京 １０００８４） 摘 要：利用水溶性聚三钼酸盐纳米线作为牺牲材料，通过模板法制备了纳米流体通道，其关键技术在于 　 寻找到合适的牺牲材料。通过水溶液合成法，在常温常压下制备得到直径为 ２０ １５０ｎｍ的聚三钼酸盐纳米 ～ 线，这些水溶性的纳米线在截面积极小的纳米通道中，能通过纵向劈裂迅速增加有效溶液接触面积，达到快 速溶解的效果，能实现截面形状可控，是通道壁材料多样的纳米流体通道的理想牺牲材料。将纳米线与光刻 技术相结合，分析其制备过程，能清晰观察到纳米流体通道的形貌。该技术对于微纳流体器件及系统的研究 具有重要意义和价值。 关键词：纳米线；聚金属氧酸盐；纳米流体通道；模板法；水溶性；牺牲材料 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＢ３８３ Ａ １００７９２８９２０１２０１００９３０６ 　　　 　　　　 犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犉犾狌犻犱犻犮犖犪狀狅狊狊狋犲犿狑犻狋犺犠犪狋犲狉犱犻狊狊狅犾狏犪犫犾犲犜狉犻犿狅犾犫犱犪狋犲犖犪狀狅狑犻狉犲狊 狔 狔 ， ， ＸＵＥＺｈｅｎ ｓｈｅｎ ＸＵＢｉｎ ｉＸＵＨｕｉ ｏｎ ｇ ｇ ｇｊ ｙ ｇ （ ， ， ） ＦａｃｕｌｔｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＧｅｏｓｃｉｅｎｃｅｓＢｅｉｉｎ １０００８４ ｙ ｇ ｇ ｙ ｊｇ 犃犫狊狋狉犪犮狋：Ｔｈｅｒｅｉｓａｔｅｍ ｌａｔｅｍｅｔｈｏｄｆｏｒｔｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｎａｎｏｃｈａｎｎｅｌｓｗｉｔｈｗａｔｅｒｄｉｓｓｏｌｖａｂｌｅｎａｎｏｗｉｒｅｓ ｐ ａｓｔｈｅｓａｃｒｉｆｉｃｉａｌｍａｔｅｒｉａｌ．Ｔｈｅｃｏｒｅｔｅｃｈｎｏｌｏ ｏｆｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｉｓｆｉｎｄｉｎ ｔｈｅａ ｒｏｒｉａｔｅｓａｃｒｉｆｉｃｉａｌｍａｔｅｒｉａｌｓ． ｇｙ ｇ ｐｐ ｐ ， ， Ｔｈｅｓｅｎａｎｏｗｉｒｅｓ ｄｉａｍｅｔｅｒｓｒａｎｉｎ ｆｒｏｍ２０ｎｍｔｏ１５０ｎｍａｎｄｌｅｎｔ