基于ZEMAXFizeau干涉仪模型.pdfVIP

第37 卷第 11 期 光电工程 Vol.37, No.11 2010 年 11 月 Opto-Electronic Engineering Nov, 2010 文章编号：1003-501X(2010)11-0098-05 基于 ZEMAX 的Fizeau 干涉仪模型 1, 2 1 1 1 杨 鹏 ，伍 凡 ，侯 溪 ，吴高峰 ( 1. 中国科学院光电技术研究所，成都 610209； 2. 中国科学院研究生院，北京 100039 ) 摘要：Fizeau 干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式，对于干涉仪的结构 及其影响因素在理论上已进行了较广泛的研究。但如何对 Fizeau 干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临的问题。本 文首先简要介绍 Fizeau 干涉仪及相位解包裹的基本原理并利用 Matlab 编写了基于矩形域的解包裹程序。然后利用 Zemax 光学设计软件建立起 Fizeau 干涉仪通用模型，利用四步相移法对干涉仪的面形检测进行仿真并利用编写的 解包裹程序计算出待测面的面形。仿真面形检测结果与真实情况一致表明 Fizeau 干涉仪通用模型能较好的对实际 干涉仪面形检测进行仿真。 关键词：光学设计；干涉仪；仿真分析 中图分类号：TP60 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2010.11.018 Fizeau Interferometer Model Base on ZEMAX 1, 2 1 1 1 YANG Peng ，WU Fan ，HOU Xi ，WU Gao-feng ( 1. Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2. Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China ) Abstract : Fizeau interferometer with the advantage of common optical path which the reference light and test light are passed becomes main structure of interferometer. The structure of interferometer and its influencing factors in theory have been analyzed by lots of literature. But how to simulate Fizeau interferometer is the problem we faced. This article first introduces the basic principle of Fizeau interferometer and phase unwrapping, and the phase unwrapping procedures based on Matlab wer