基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度探究.pdfVIP

第33卷第3期 光学仪器 V01．33，Na3 2011年6月 OPTICALINSTRUMENTS June，20ll 文章编号：1005—5630(2011)03一007卜06 基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度研究* 范慧敏，刘文文 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009) 摘要：为了高效、快速的实现微结构三维可视化，对基于像散原理并行共聚焦光学系统中探测曲 线过零点灵敏度的影响因素进行了研究。从几何光学的角度，建立探测曲线过零点的灵敏度与 柱面镜组参数之间的关系，然后利用Zemax对结论进行仿真，其结果提供了获得最佳柱面镜参 数及其设计方法。同时，为了进一步提高探测曲线灵敏度，对已有的四象限法进行改进，提出了 去对角四象限法，并在MatLab中对两种方法做了比较，其仿真结果证明去对角四象限法可以有 效地提高探测曲线过零点的灵敏度。 关键词：并行共聚焦；像散法；探测曲线；灵敏度