真空抽负装置在还原炉生产过程中的运用.pdfVIP

设备管理设备管理 真空抽负装置在还原炉生产过程中的运用 李春林（昆明冶研新材料股份有限公司 云南 曲靖） 摘要：多晶硅生产方法主要有两种，一种是改良西门子法，另 时间到，就需要逐步降低还原炉的电流和进料量，当到一定温度 一种是硅烷法；目前全球有85%的厂家采用改良西门子法生产多 后，关闭进入还原炉的三氯氢硅，同时给还原炉断电，关闭进还原 晶硅；采用改良西门子法生产多晶硅关键在还原工序，还原工序 炉的氢气，然后向还原炉内通入氮气，当从还原炉尾气管取样分 的生产成本占整个多晶硅生产成本的50%。因此，稳定还原炉的 析氮气中的氢气含量小于0.1%时氮气置换氢气合格，此时可以 操作，保证还原炉的在线生产是工作的重点，真空抽负装置在还 拆炉收取多晶硅产品。 原工序的运用，有效提高还原炉的生产效率，降低了还原工序的 每台还原炉每一周期开、停炉时氮气用量分别为：（1）24对棒 生产成本。 还原炉开炉时氮气置换空气时需要50分钟，氮气用量为 关键词：多晶硅；改良西门子法；还原炉；化学气相沉积；水 125Nm3，氢气置换氮气时需要42分钟，氢气用量为86Nm3；24 环式真空泵 对棒还原炉停炉时氢气置换氯硅烷时需要120分钟，氢气用量为 一、概述 1792Nm3，氮气置换氢气时需要50分钟，氮气用量为270Nm3。 硅作为一种新材料，越来越与我们的生活息息相关，远到航 （2）12对棒还原炉开炉时氮气置换空气时需要50分钟，氮气用量 天航空技术，近到我们家用电器都离不开它，硅在地壳中的丰度 为 37.5Nm3，氢气置换氮气时需要 70 分钟 ，氢气用量为 为27.7%，地壳中含量最多的元素氧和硅化合形成的二氧化硅 140Nm3；24对棒还原炉停炉时氢气置换氯硅烷时需要120分钟， （SiO ）占地壳总质量的87%，多晶硅按纯度分类，可以分为冶金 氢气用量为240Nm3，氮气置换氢气时需要150分钟，氮气用量为2 级（金属硅）、太阳能级、电子级。目前多晶硅的生产方法主要有 112.5Nm3。 四氯化硅法、硅烷法、流化床法、改良西门子法。在四种方法中改 从以上数据统计可得，24对棒还原炉每一周期开、停炉氮气 良西门子法的沉积速率最高，可达10～16μm/min。一次转化 置换时间为1.7小时，氮气用量为395 Nm3，氢气置换时间为2.7 率为10%左右，也是最高的。目前全球有85%的厂家采用改良西 小时，氢气用量为1878Nm3；12对棒还原炉每一周期开停炉氮气 门子法生产多晶硅。 置换时间为3.3小时，氮气用量为150 Nm3，氢气置换时间为 改良西门子法生产多晶硅流程图如下： 3.17小时，氢气用量为380Nm3，从数据统计分析来看，还原炉每 一周期开、停炉置换需要花费大量时间，消耗大量的氮气、氢气， 严重制约还原炉产能的提升和降低还原炉的生产成本。为了能 有效缩短还原炉的置换时间和氮气、氢气用量，我们对还原炉系 统进行技改，采用水环式真空泵给还原炉进行真空抽负后置换， 缩短了还原炉的非生产时间。 三、还原炉真空抽负技改工艺流程 图一 改良西门子法生产多晶硅流程图 采用改良西门子法生产多晶硅整个生产过程中，在还原炉内 进行化学气相沉积反应的化学反应方程式为： SiHCl(g)+H(g) =Si(s)+3HCl(g)3 2 二、现状分析 还原炉的操作是间歇性操作，每台还原炉生产到一定时间 后，就需要停炉取出多晶硅产品，其中24对棒还原炉运行一个周